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各产业中不可或缺的真空技术

真空技术在各产业当中已成为不可或缺的存在。

例如:
在汽车产业中车灯、后视镜、车窗玻璃的镀膜及车载摄像头(CMOS)、传感器(MEMS及光学传感器)的主要生产工艺中需使用到真空设备。
此外,真空技术还广泛被应用于各种电子产品等与IoT相关的行业当中。TV与智能手机作为行业的代表,内置于通信设备及其基础设备中的半导体与显示面板在制造过程中都需要使用到真空技术。现在,不仅是工业,医疗产业的杀菌设备、癌症治疗用加速器、医药品及速食食品的冷冻干燥工艺上等与生活相贴切的产业当中都需要使用到真空技术。

产业领域一览Industries

半导体・电子零件 半导体・电子零件

具体应用

晶圆、LSI、内存、光掩模、晶圆晶体、存储介质、传感器、磁头、电容器、MEMS、热敏头、水晶器件等

半导体零件是在单晶硅晶圆上,反复进行镀膜,光刻,刻蚀,离子注入等工序制造而成。半导体诸多工序包括检测都离不开真空环境。半导体制造工序进行真空排气时,低中真空使用干式真空泵。高真空使用涡轮分子泵,冷凝泵等。

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薄膜涂层 薄膜涂层

具体应用

透镜、反射镜、光学滤光器、光学仪器、通信设备、金属丝线、包装材料的真空镀膜、手机外壳等

在透镜和反射镜等光学零件中的高性能产品是在母材上通过蒸镀和溅射等PVD工序制造成膜防反射涂层和滤光器等功能性薄膜。 同时PVD镀膜,也能对商品容器和智能手机的框体,汽车的内部装饰零件等给予外观装饰用途。蒸镀·溅射工序的真空排气可使用涡轮分子泵油扩散真空泵

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汽车・航空 汽车・航空

具体应用

汽车零件焊接(硬焊),检漏测试、真空镀层、真空成型、飞机CFPR、树脂成型、船舶关联机器等

在要求高可靠性的汽车和飞机零件·部件的制造过程中,为了使零件的泄漏检查和热处理、素材质量的稳定,都需使用真空技术。 例如,在对零件进行泄露检查时使用的氦气检漏仪,通常使用具有压缩比不同的多个吸气口的分流型涡轮分子泵作为主排气和差动排气。敝司可提供适用于氦气检漏仪规格的真空泵。

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素材 素材

具体应用

新材料(超合金·碳纳米管等)、纸浆、纸、橡胶、玻璃、精细陶瓷

高性能的建筑用玻璃一般都会镀Low-E膜。由于它们是通过溅射成膜的,所以一般针对重Ar气体使用大排气速度高流量性能的涡轮分子泵。敝司的产品群,磁悬浮轴承型涡轮分子泵TGkine®-B系列TGkine®-R系列TG-M系列、脂润滑轴承型涡轮分子泵TG-F系列都可对应。

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金属・钢铁 金属・钢铁

具体应用

铁合金脱气、溶解及贵金属、高熔点金属的溶解冶炼、真空渗碳、退火、淬火、硬焊、电子束焊接等

在高强度钢铁的制造中,真空脱气用于去除钢水中溶解的气体成分,真空渗碳炉通过碳在钢表面的渗透和扩散使之提高耐磨性,以及真空熔炼炉用于高性能合金的精炼。这些用途都需在几分钟内将排气速度达到数10帕,且在其过程中会产生含有大量粉尘的气体。

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化学 化学

具体应用

石油天然气的蒸馏、精炼、塑料颗粒干燥、高分子材料的蒸馏、合成纤维

石化厂使用从原油中分馏出的石脑油,生产塑料、合成橡胶、合成纤维、涂料和用于清洁的表面活性剂等各种石化产品。此外,在减压条件下的蒸馏、缩聚、干燥、脱气、除臭等各种工序中真空技术都发挥着重要的作用。

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能源 能源

具体应用

太阳电池、蓄电池、锂离子电池等

在一些太阳能电池的制造过程中,需在真空环境中对光吸收层和功能膜进行沉积。敝司提供兼具大排气速度和高流量性能的磁悬浮轴承型涡轮分子泵的TGkine®-B系列TGkine®-R系列

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医疗药品 医疗药品

具体应用

血清抗生素的冷冻干燥、医药品蒸馏,干燥、医疗干燥用电子机器等

药品制造涉及使用真空蒸馏和冷冻干燥工艺来处理精细成分。蒸汽喷射泵和液封式真空泵适合水等可凝性气体的排气特性的真空排气。 医疗器具进行灭菌的医疗用高压蒸汽灭菌装置和氧化乙烯气体灭菌装置、过氧化氢低温等离子体灭菌装置,通常使用直结型旋片泵(2段式)。

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理化学机器 理化学机器

具体应用

加速器、分析、电子显微镜、质量分析、气体分析、CD-SEM等

质谱仪,电子显微镜,X射线衍射仪等,精密分析仪和测量仪器,测量时为了排除空气的影响通常内部进行抽真空。

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显示屏幕 显示屏幕

具体应用

LCD、OLED、QLED、microLED、触控面板等

平板显示器是在大型玻璃和树脂基板上反复进行溅射、CVD、光刻、蚀刻、离子注入等工序制造的。其诸多工序都需要在真空环境下进行。

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宇宙,研究开发 宇宙,研究开发

具体应用

航空腔体、人工卫星搭载器、核融合、放射光、基础研究(大学,研究所)等

真空环境也以各种方式被用于大型科学项目,如宇宙探索、ITER和粒子加速器,以及各种规模的研究机构和实验室。

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机械工业 机械工业

具体应用

真空成型,真空包装,工具,部件的硬化处理,模具(冲模)加工,3D打印等

电子束焊接,例如用于焊接齿轮,使用电子束在高真空中加速和聚焦来连接物体。电子枪部通常使用全方位安装小型涡轮分子泵进行真空排气。焊接腔体内部也以大排气速度从大气压反复排气。敝司提供罗茨真空泵RD系列和摇动活塞形油旋转泵P系列的组合阵容。

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食品 食品

具体应用

蔬菜、水果、咖啡等冷冻干燥,酒类的减压蒸馏,真空冷却储藏,真空包装

肉类、蔬菜和预制食品在真空中被包装或快速冷却,从而使它们在更长时间内保持其质量。敝司提供耐大气压力反复抽空的摆动活塞式油滑阀真空泵P系列,含水气体强效排气的液封式真空泵W系列

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重型电机 重型电机

具体应用

变压器、电机、电缆、真空断路器、真空管等

电机、发电机和变压器可以通过在真空中干燥绕组以去除表面水分,然后在真空中用绝缘材料浸渍,从而长期保持其绝缘能力。 电力电缆中使用的绝缘纸也是在真空中干燥的,以确保它能长期保持其绝缘能力。 这些真空干燥过程需要很高的排气速度,排放的气体中含有大量的水分。

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搬送 搬送

具体应用

真空吸盘、镊子、垃圾真空输送、吸附搬运(印刷纸、装订等)

对于输送大尺寸的盘子和低强度、低硬度的纸张,使用真空吸盘来吸着物体并进行输送。 真空输送机还用于食品加工、医药制造和塑料材料(颗粒)的输送,在低于大气压力的气流中输送粉末和颗粒状材料。

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