产品信息

  • 罗茨真空泵

    罗茨真空泵

  • 滑阀真空泵

    滑阀真空泵

  • 液环真空泵

    液环真空泵

  • 油扩散真空泵

    油扩散真空泵

  • 喷射泵

    喷射泵

  • 干式真空泵

    干式真空泵

  • 真空系统

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  • 真空设备

    真空设备

涡轮分子泵

涡轮分子泵由多层转子叶片和定子叶片组成。 下图所示的是叶片的角度以及旋转方向的关系 气体分子从高真空侧进入泵内,附着于转子叶片后将按照麦克斯韦分布朝不同方向脱离。 然而,由于叶片的倾斜角度和旋转,分子飞入下一层,并且容易穿过定子叶片再向下。

排气原理详解

涡轮分子泵(复合分子泵)的排气原理

涡轮分子泵由多层转子叶片和定子叶片组成。 下图所示的是叶片的角度以及旋转方向的关系 气体分子从高真空侧进入泵内,附着于转子叶片后将按照麦克斯韦分布朝不同方向脱离。 然而,由于叶片的倾斜角度和旋转,分子飞入下一层,并且容易穿过定子叶片再向下。 同时,从下层飞入并通过固定叶片后逆行的气体分子,也能通过与转子叶片碰撞再次飞到下一层。 叶片的角度是,上层的气体分子容易通过(排气方向的流向和逆流的差较大)的角度,而下层的气体分子不容易逆行的(排气方向的流向和逆流的比较大)角度。 在分子流域,涡轮分子泵是通过该转子叶片和定子叶片发挥基本性能。

本公司在转子叶片和定子叶片组合基础上增加了“螺纹槽”构造。被压缩到圆筒状的旋转部(转子)的壁面的气体分子,最终沿着固定部分(定子)的螺纹槽,移到泵的排气口一侧。 由于螺纹槽的作用,涡轮分子泵(复合分子泵)不仅在分子流域,在粘滞流也能排气,尤其在粘滞流时可以大流量排气。 因此,涡轮分子泵的适用压力范围被扩展,得到了很多用途的广泛应用。此外,由于可以在高背压下运转,也有可能使用更小的、压力更高的辅助泵。

涡轮分子泵剖面图

涡轮分子泵剖面图(脂润滑陶瓷轴承)

涡轮分子泵剖面图

涡轮分子泵的主要特点

・无油的超真空环境

・机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同

・可排稀有气体和腐蚀性气体

・可连续排大流量气体

・可工作的压力范围宽。(~10-10Pa)

全方位安装复合分子泵 TG-F系列

使用了脂润滑陶瓷轴承,实现了小型、轻量、低成本。 耐外部震动,耐冲击能力强,可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部,拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ~ 2400L/s的产品。

  • TG50F

    TG50F

  • TG60F

    TG60F

  • TG70F

    TG70F

  • TG220F

    TG220F

  • TG240F

    TG240F

  • TG350F

    TG350F

  • TG450F

    TG450F

  • TG800F

    TG800F

  • TG1100F

    TG1100F

  • TG1400F

    TG1400F

  • TG2400F

    TG2400F

  • TG2410F

    TG2410F

磁悬浮轴承型复合分子泵TG-M系列

使用磁悬浮轴承实现无油的排气,而且维护周期长。提供排气速度300L/s~3400L/s的产品。

  • TG397M

    TG397M

  • TG427M

    TG427M

  • TG907M

    TG907M

  • TG1307M

    TG1307M

  • TG390M

    TG390M

  • TG420M

    TG420M

  • TG900M

    TG900M

  • TG1300M

    TG1300M

  • TG2400M

    TG2400M

  • 超高真空型TG-MU

    超高真空型TG-MU

  • 极低振动型TG-ML系列

    极低振动型TG-ML系列

  • 耐反应生成物TG-MI系列

    耐反应生成物TG-MI系列

磁悬浮复合分子泵(控制器・电源一体型)TGkine系列

实现了控制器和电源的一体化。不需要输出电缆和控制器机架,减少的设备的占地面积。继承了TG-M系列的特点,通过转子的最优化设计,进一步提高了排气性能。

  • TGkine1700M/TGkine2200M

    TGkine1700M/TGkine2200M

  • TGkine3300M

    TGkine3300M

  • TGkine3800M/TGkine4200M

    TGkine3800M/TGkine4200M

  • 耐反应生成物 磁悬浮复合分子泵(电源・控制器一体型)TGkine-MI系列

    耐反应生成物 磁悬浮复合分子泵(电源・控制器一体型)TGkine-MI系列

油润滑滚珠轴承复合分子泵系列 TG系列

使用了油润滑滚珠轴承。提供排气速度200L/s~5500L/s的耐腐蚀型产品,可用于腐蚀性气体排气。

  • TG203

    TG203

  • TG553

    TG553

  • TG1003

    TG1003

  • TG1303

    TG1303

  • TG1810/TG1813

    TG1810/TG1813

  • TG2813

    TG2813

  • TG3213

    TG3213

  • TG3413

    TG3413

  • TG5000/TG5003

    TG5000/TG5003

  • TG5500/5503

    TG5500/5503

涡轮分子泵排气机组

  • ST-Compact系列

    ST-Compact系列

  • ST系列(TG-F系列+干式真空泵)

    ST系列(TG-F系列+干式真空泵)

  • ST系列(TG-F系列+滑阀真空泵)

    ST系列(TG-F系列+滑阀真空泵)

罗茨真空泵

罗茨真空泵是通过旋转茧形转子来进行压缩排气的真空泵。
他是可以串联在滑阀真空泵的前端来加快排气速度的机械式真空泵,所以也被叫做罗茨增压机。
罗茨真空泵通常跟干式泵,滑阀泵,液环式真空泵等能可以直排大气的真空泵串联来使用。

大阪真空的罗茨真空泵

◎大阪真空的电机直连罗茨真空泵(RD系列,RA系列),设计紧凑,易于串联成真空泵组。
同时提供皮带驱动式大型罗茨真空泵(R系列),适用于宇宙试验等大容积的排气。


◎罗茨泵运转条件,与进口压强和出口压强的压差有关。如果超过允许压差,电动机负荷会加大,同时导致过热。
大阪真空的罗茨系列有可安装旁通阀,在压差超过允许值时自动进行回气。所以在进口压力高的领域也能最大限度地发挥排气能力(可选项)。


◎使用变频器,可以从大气压下开始驱动,高压强下也可以控制。
另外,随机种和使用地域,有时可以通过加速旋转来加快排气速度(最大约加快40%)(可选项)。

RD系列

  • RD302

    RD302

  • RD600

    RD600

  • RD1200

    RD1200

  • RD1500

    RD1500

  • RD2500/RD2510

    RD2500/RD2510

RA系列

  • RA100

    RA100

R系列

  • R6002

    R6002

  • R12001

    R12001

滑阀真空泵

滑阀真空泵是能够在大气压压力领域工作的机械泵中的,拥有优良的经济性以及操作性的一种。 因为用途宽广,被大量使用。

大阪真空的滑阀真空泵

◎滑阀真空泵根据构造分为,滑阀式,旋片式, 凸轮式。
大阪真空的泵是滑阀式的,持久耐用,吸入空间大, 可以有效排气,非常适用于大型泵。


◎泵油是泵安全运转的要点。
大阪真空的滑阀真空泵,可以在高压强下连续运转,大气真空的频繁切换的情况下, 也能通过维持供油以长期安心使用。


◎精细且坚固的设计,易维护的构造, 通过适当维护可以使用20,30年。

P系列

  • P90

    P90

  • P180

    P180

  • P222

    P222

  • P450

    P450

  • P600

    P600

  • P901

    P901

K系列

  • K30002

    K30002

EcopostiV系列

  • EP450

    EP450

液环真空泵

液环式真空是指把水或者一些工作液体当做密封液,压缩到大气压的真空泵。 可以得到在密封液的饱和蒸汽压附近的极限真空,把水当做密封液使用时也被称作水环式真空泵。

液环式真空泵的排气原理
液环式真空泵由泵壳以及其内部的叶轮 (转子)组成。 泵壳内部灌入密封液,让叶轮旋转,密封液由于离心力的作用,被挤压到泵壳内壁形成水环。 这样,叶轮和密封液之间会被叶轮隔开形成很多空间。叶轮是偏心的,叶轮旋转导致各空间的容积变化。 利用这些容积的变化来实现不断地吸气、压缩、排气。

大阪真空的液环式真空泵(水环式真空泵)

大阪真空的液环式真空泵,可以使用水以及各种密封液。 根据用途选择适当的密封液,对含有水蒸气或各种含有机溶剂的气体(可凝性气体)进行排气。 另外,可以通过封闭循环系统,减少废液。

液环式真空泵可以与其他泵串联使用。 比如,与罗茨泵串联,用较少的能量实现大量排气,实现高真空环境(PRL系列)。
另外,串联大气喷射器,实现理想的极限压力来防止气蚀现象。(1段喷射器:WA系列,2段喷射器:WB系列)

W系列

  • W30S

    W30S

  • W50S/WA50S

    W50S/WA50S

  • W80S/WA80S

    W80S/WA80S

  • W150S/WA150S

    W150S/WA150S

  • W310S/WA310S/WB310S

    W310S/WA310S/WB310S

  • W630S/WA630S/WB630S

    W630S/WA630S/WB630S

油扩散真空泵

● 使用方法简单,可轻松获得超高真空环境。广泛应用于真空冶炼,真空蒸镀,电子束焊接,溅射设备等真空设备上。

● 可提供排气速度在10,000L/s(无冷阱)以上的产品。

● 因工作油的沸腾而引起的压力变动少,产品可靠性高。

● 无机械操作部分,坚固,产品寿命长。

● 拆卸简单,便于清扫,日常维护,点检。

构造及工作原理

构造及工作原理

如图所示,油扩散泵由油锅、扩散喷嘴、汽缸三个部分组成 ,真空泵本身没有机械式的可动机构。
油扩散泵的排气原理如下:首先,油在油锅的部分被加热蒸发,大量的油分子从喷嘴倾斜地向下以超音速的速度被喷出。从高真空侧(吸气口)吸入的气体分子高几率的与喷出的油分子进行碰撞,被油分子一起被喷出与压缩到斜下方的空间内。如此反复至第二级,第三级,最后气体分子经排气口由前级泵抽出。
由喷嘴喷出的油分子与冷却的汽缸内壁进行碰撞,会产生冷凝,液化效果。最后,回到油锅内,再次被加热后从喷嘴喷出。
另外,油扩散真空泵并不能进行单独的排气,需要与前级泵(主要为滑阀真空泵)进行搭配后进行排气。

油扩散真空泵

  • 油扩散真空泵

    油扩散真空泵

喷射泵

喷射泵是把喷射蒸汽作为驱动源,没有机械式驱动的真空泵。
构造简单,故障几乎为零。操作简单,能制造大排气量的规格品, 所以用于包括炼钢脱气设备,聚合设备等各种产业。
喷射泵可以单独直排大气,通过串联可以实现高真空。 和其他泵组合,可以作为真空系统使用。

喷射泵

  • 喷射泵

    喷射泵

干式真空泵

大阪真空提供以下3种干式真空泵

大气压下连续运转&可吸入水蒸气

  • ■大气压下可连续运转

  • ■可吸入水蒸气

  • ■缩短排气时间

  • ■空冷规格

  • 大气压下连续运转&可吸入水蒸气 FR060D

    大气压下连续运转&可吸入水蒸气 FR060D

节能&排腐蚀性气体

  • ■节能

  • ■小型・轻量

  • ■洁净排气

  • ■可选择耐腐蚀规格

  • ■可选择转数控制功能

  • 节能&抗腐蚀性气体 ER100D/ER100DC

    节能&抗腐蚀性气体 ER100D/ER100DC

小型&操作简单

  • ■洁净排气

  • ■空冷规格

  • ■气镇

  • ■无油

  • ■初期排气时间短

  • ■成本低

  • ■小型

  • ■节能

  • 小型干式真空泵 DSP50 ⁄ DSP250 ⁄ DSP500

    小型干式真空泵 DSP50 ⁄ DSP250 ⁄ DSP500

 

真空机组

真空系统是通过组合各种泵来实现真空环境的系统。
真空广泛用于先端科学技术到一般产业的领域。 根据用途所需的真空条件也是不同的。 考虑对环境的影响,可凝性气体、腐蚀性气体的处理是应该解决的重要问题。

另外,还有节能问题,所需的压力范围也各不相同。
真空泵有各自的特点,通过组合这些泵实现理想的真空环境。

关于真空机组的大阪真空的目标

大阪真空以「让客户放心,满足,能长期使用的高信赖性产品」为目标,以多种产品服务为基础,结合成功经验和精湛技术提供按需定制的服务。

搭载了涡轮分子泵的真空机组

  • 与油封式真空泵组合

    搭载了涡轮分子泵的真空机组

    主泵采用滚珠轴承复合分子泵,辅助泵使才有油封式真空泵, 实现低价组合,简单操作,得到低成本的超高真空。

  • 干式真空泵真空泵的组合

    干式真空泵真空泵的组合

    主泵采用磁悬浮涡轮分子泵,辅助泵采用干式真空泵, 简单实现无油的洁净超高真空、极高真空。

  • 串联涡轮分子泵

    串联涡轮分子泵

    辅助泵有时使用涡轮分子泵以获得超高真空。 在超高真空领域提高对于氢气的排气速度,实现稳定的极高真空。

  • 与升华泵的组合

    与升华泵的组合

    使用离子泵、升华泵、非蒸发型升华泵(NEG泵)等极高真空用泵,与涡轮分子泵组合,在极高真空易于对各种气体排气,实现稳定的极高真空。

搭载了干式真空泵的真空机组

  • 与罗茨真空泵组合

    与罗茨真空泵组合

    耐腐蚀,并且全系统完全无油。

  • 与两级罗茨真空泵组合

    与两级罗茨真空泵组合

    与两级罗茨真空泵组合,实现更高真空的环保的真空系统。

  • 与喷射泵的组合

    与喷射泵的组合

    干式泵与适合大量排气的喷射泵组合,无油的环保型真空系统。

搭载了油封式真空泵的真空机组

  • 与罗茨真空泵组合

    与罗茨真空泵组合

    实现有效的大容积排气,在热处理装置,焊接装置方面有很多业绩。

  • 与两级罗茨真空泵组合

    与两级罗茨真空泵组合

    与两级罗茨真空泵组合,实现更高真空的环保的真空机组。

搭载了液环真空泵的真空机组

  • 与罗茨真空泵组合

    与罗茨真空泵组合

    可用于可凝性气体排气,在真空干燥、真空蒸馏方面广泛应用。

  • 2级罗茨真空泵

    2级罗茨真空泵

    与2级或更多级罗茨泵组合获得更高真空。多用于干燥装置。

  • 与喷射泵组合

    与喷射泵组合

    与适合大流量排气的喷射组合,或与不需要排水处理的液环真空泵组合成环保型真空系统。喷射泵的段数,罗茨真空泵的有无等,可以随条件而设计。

搭载了罗茨真空泵的真空机组

  • 与油封式真空泵的组合

    与油封式真空泵的组合

    实现有效的大容积排气,在热处理装置,焊接装置方面有很多业绩。

  • 油封式真空泵和2级罗茨真空泵的组合

    油封式真空泵和2级罗茨真空泵的组合

    与两级罗茨真空泵组合,实现更高真空的环保的真空系统。

  • 与液环式真空泵的组合

    与液环式真空泵的组合

    可用于可凝性气体排气,在真空干燥、真空蒸馏方面广泛应用。

  • 液环式真空泵和2级罗茨真空泵的组合

    液环式真空泵和2级罗茨真空泵的组合

    与2级或更多级罗茨泵组合获得更高真空。多用于干燥装置。

  • 与干式真空泵的组合

    与干式真空泵的组合

    耐腐蚀,并且全系统完全无油。

  • 干式真空泵和两级罗茨真空泵的组合

    干式真空泵和两级罗茨真空泵的组合

    与两级罗茨真空泵组合,实现更高真空的环保的真空系统。

  • 喷射泵泵和液环真空泵的组合

    喷射泵泵和液环真空泵的组合

    与适合大流量排气的喷射组合,或与不需要排水处理的液环真空泵组合成环保型真空系统。喷射泵的段数,罗茨真空泵的有无等,可以随条件而设计。

搭载了喷射泵的真空机组

为高效使用驱动蒸气或冷却水,根据需求可单独设计喷射泵。订购时请提示以下条件。

・吸入口压力・吸入气体的种类(分子量)以及使用量

・吸入气体的温度・驱动源的种类、压力,冷却水温度

・冷凝器型号要求・被排气容积,初期排气时间

  • 与液环式真空的组合

    与液环式真空的组合

    与适合大流量排气的喷射组合,或与不需要排水处理的液环真空泵组合成环保型真空系统。喷射泵的段数,罗茨真空泵的有无等,可以随条件而设计。

  • 与干式真空的组合

    与干式真空的组合

    干式泵与适合大量排气的喷射泵组合,无油的环保型真空系统。

  • 2段增压器式4段喷射泵的组合

    2段增压器式4段喷射泵的组合

    适用于像脱气用等的大流量排气,可以根据抽吸压力,改变段数。可以自由选择耐腐蚀性材料,根据目的提供设计。

真空设备

大阪真空从开发涡轮分子泵开始,随着洁净高真空、 物理化学研究、在半导体・液晶领域的发展而壮大。 本公司致力开发操作简便、性价比高的真空系统, 各种系统充分融和了客户的需求。

  • ■溅射设备

  • ■镀膜设备

  • ■真空排气设备

  • ■薄膜设备

  • ■FPD製造

  • ■真空环境试验设备

  • 溅射设备

    溅射设备
  • V阴极磁控溅射设备

    V阴极磁控溅射设备
  • 等离子发生设备

    等离子发生设备
  • 円筒外面溅射设备

    円筒外面溅射设备
  • 激光消融真空设备

    激光消融真空设备