真空排气机组

与油封式真空泵组合

主泵采用滚珠轴承复合分子泵，辅助泵使才有油封式真空泵， 实现低价组合，简单操作，得到低成本的超高真空。

干式真空泵真空泵的组合

主泵采用磁悬浮涡轮分子泵，辅助泵采用干式真空泵， 简单实现无油的洁净超高真空、极高真空。

与油封式真空泵组合

喷射泵泵和液环真空泵的组合

油封式真空泵和2级罗茨真空泵的组合

实现有效的大容积排气，在热处理装置，焊接装置方面有很多业绩。

PRM/SR系列由单台或多台罗茨真空泵与油封式真空泵组成。油封式真空泵是能够压缩至大气压的机械式真空泵中最经济、高效、操作性优良的真空泵，适用用途广，因此在全球被广泛使用。
前级泵分为有两种，滑阀泵：P/K系列与旋片泵：VRD/VSV系列。
滑阀泵具有优异的耐久性，可实现高效排气，结构坚固，维护作业更容易。旋片泵具有运行时振动少等优点，常作为小型真空泵被采用。

与液环式真空泵的组合

可用于可凝性气体排气，在真空干燥、真空蒸馏方面广泛应用。

液环式真空泵和2级罗茨真空泵的组合

与2级或更多级罗茨泵组合获得更高真空。多用于干燥装置。

PRL系列由单台或多台罗茨真空泵与液环真空泵组成。通过与液环真空泵组合，可以在针对排出气体含有水蒸气和有机溶剂的制程，表现出稳定的性能。
封闭循环系统可用于排水处理，最大限度减少有水以及机溶剂的处理量。此外，与吸入气体相同的有机溶剂也可以用作密封液。简化了吸入气体的回收，并有助于符合排放标准。
根据客户需求，可以组合单台或多台罗茨真空泵，从而在中真空领域实现高排气速度，节省电力，并有效获得更高的真空度。

干式真空泵真空泵的组合

耐腐蚀，并且全系统完全无油。

干式真空泵和两级罗茨真空泵的组合

与两级罗茨真空泵组合，实现更高真空的环保的真空系统。

PRD系列由单台或多台罗茨真空泵与干式真空泵组成。通过与干式真空泵组合，泵系统能够适用于腐蚀性应用，并且实现无油化，使系统更加环保。

根据客户需求，可以组合一台或两段台上的罗茨真空泵，从而更高效地实现更高的真空度。

与罗茨真空泵组合

实现有效的大容积排气，在热处理装置，焊接装置方面有很多业绩。

与两级罗茨真空泵组合

与两级罗茨真空泵组合，实现更高真空的环保的真空机组。

PRM/SR系列由单台或多台罗茨真空泵与油封式真空泵组成。油封式真空泵是能够压缩至大气压的机械式真空泵中最经济、高效、操作性优良的真空泵，适用用途广，因此在全球被广泛使用。
前级泵分为有两种，滑阀泵：P/K系列与旋片泵：VRD/VSV系列。
滑阀泵具有优异的耐久性，可实现高效排气，结构坚固，维护作业更容易。旋片泵具有运行时振动少等优点，常作为小型真空泵被采用。

与罗茨真空泵组合

可用于可凝性气体排气，在真空干燥、真空蒸馏方面广泛应用。

与两级罗茨真空泵组合

与2级或更多级罗茨泵组合获得更高真空。多用于干燥装置。

PRL系列由单台或多台罗茨真空泵与液环真空泵组成。通过与液环真空泵组合，可以在针对排出气体含有水蒸气和有机溶剂的制程，表现出稳定的性能。
封闭循环系统可用于排水处理，最大限度减少有水以及机溶剂的处理量。此外，与吸入气体相同的有机溶剂也可以用作密封液。简化了吸入气体的回收，并有助于符合排放标准。
根据客户需求，可以组合单台或多台罗茨真空泵，从而在中真空领域实现高排气速度，节省电力，并有效获得更高的真空度。

与液环式真空泵的组合

与适合大流量排气的喷射组合，或与不需要排水处理的液环真空泵组合成环保型真空系统。喷射泵的段数，罗茨真空泵的有无等，可以随条件而设计。

干式真空泵真空泵的组合

干式泵与适合大量排气的喷射泵组合，无油的环保型真空系统。

2段增压器式4段喷射泵的组合

适用于像脱气用等的大流量排气，可以根据抽吸压力，改变段数。可以自由选择耐腐蚀性材料，根据目的提供设计。

为高效使用驱动蒸气或冷却水，根据需求可单独设计喷射泵。订购时请提示以下条件。

• 吸入口压力・吸入气体的种类(分子量)以及使用量

• 吸入气体的温度・驱动源的种类、压力，冷却水温度

• 冷凝器型号要求・被排气容积，初期排气时间

与罗茨真空泵组合

耐腐蚀，并且全系统完全无油。

干式真空泵和两级罗茨真空泵的组合

与两级罗茨真空泵组合，实现更高真空的环保的真空系统。

PRD系列由单台或多台罗茨真空泵与干式真空泵组成。通过与干式真空泵组合，泵系统能够适用于腐蚀性应用，并且实现无油化，使系统更加环保。

根据客户需求，可以组合一台或两段台上的罗茨真空泵，从而更高效地实现更高的真空度。