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产品信息

TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

  • TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

新型磁悬浮轴承型涡轮分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M 的特长

 

  • 省电力设计
  • 工作数据，轴承接触次数，机种情报等都可存储于分子泵本体                                                                                                                                     ※进行保养时即使更换控制器，数据也可进行转移
  • 多种通信规格(可对应EtherCAT)
  • 国际规格
  • 符合CE，SEMI-S2，NRTL规格

用途

  • 半导体制造设备
  • FPD制造设备
  • 太阳能电池制造设备
  • 玻璃/镜片等光学部件加工
  • 薄膜加工
  • 加速器/宇宙环境实验设备

规格

外观尺寸表

性能曲线

控制器