产品信息

TG1300M

　■全方位安装
　■轻巧设计
　■节能
　■分子泵停止与启动时间短
　■附带维护警报机能
　■低振动
　■无需调整
　■自动校准
　■可控制转子旋转速度
　■大流量排气
　■多种通信模式
　■符合安全规格　NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・分析，试验装置
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发

规格

吸气口法兰		VG200 CF200 ISO-B200
排气速度	N₂ (L/s)	1300
	N₂(附加金属保护网) (L/s)	1230
	H₂ (L/s)	1200
最大压缩比	N₂	1×10⁸
最大压缩比	H₂	1.5×10⁴
极限压力	VG・ISO-B/CF (Pa)	<1×10^-6 / <1×10^-7
极限压力	VG・ISO-B/CF (Torr)	<7.5×10^-9 / <7.5×10^-10
最大气体流量^※1	N₂ (sccm)	3000
启动时间	(min)	4~5
停止时间	(min)	4~5
允许辅助压力	(Pa / Torr)	500 / 3.8
推荐辅助泵	(L/min)	≧250
安装角度		任意
重量	VG･ISO-B/CF(kg)	34/42
特殊规格（详情请咨询销售人员。）		-耐腐蚀型 -耐反应生成物型 TG-MI -极低振动型 TG-ML -超高真空型 TG-MU -耐辐射型 TG-MR

※1：辅助泵的容量是1000L/min情况下的容许最大流量
[ 使用周囲温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。
关于对应的气体种类请咨询销售人员。

外观尺寸表

性能曲线

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控制器