产品信息

TG420M

  • TG420M

 ■全方位安装
 ■轻巧设计
 ■节能
 ■分子泵停止与启动时间短
 ■附带维护警报机能
 ■低振动
 ■无需调整
 ■自动校准
 ■可控制转子旋转速度
 ■大流量排气
 ■多种通信模式
 ■符合安全规格 NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半导体制造
・电子枪排气,离子源排气
・FPD制造
・表面处理,表面改质
・各种电子部件的制造
・分析,试验装置
・管球制造,光学部件制造
・加速器,放射线设施,核聚变研究
・热处理
・研究开发


规格

吸气口法兰 VG150
CF160
ISO-B160
排气速度 N2 (L/s) 400
N2(附加金属保护网) (L/s) 370
H2 (L/s) 300
最大压缩比 N2 1×108 
H2 4.5×103 
极限压力 VG・ISO-B/CF (Pa) <1×10-6 / <1×10-7 
VG・ISO-B/CF (Torr) <7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大气体流量※1 N2 (sccm) 2000
启动时间 (min)  2~3
停止时间 (min) 4~5
允许辅助压力 (Pa / Torr) 400 / 3 
推荐辅助泵 (L/min) ≧160
安装角度 任意
重量 VG・ISO-B/CF(kg)   14/17
特殊规格
(详情请咨询销售人员。)
-耐腐蚀型
-耐反应生成物型 TG-MI
-极振动型 TG-ML
  • ※1:辅助泵的容量是320L/min情况下的容许最大流量
  • [ 使用周囲温度 ]
  • 极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度在空冷情况下是10~32℃,水冷情况下是10~40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10~35℃。
  • [ 对应气体种类 ]
  • 由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。
    关于对应的气体种类请咨询销售人员。

外观尺寸表

外观尺寸表


  • VG150 φ235 16 225
    CF160 φ203 22 230
    ISO-B160 φ225 16 230
  • ●吸气口法兰对称分布于排气口。
  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

性能曲线

性能曲线
性能曲线
  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

控制器

控制器


控制器


控制器型式 TC010MA
输入电压(ACV) 200-240(±10%)
输入频率(Hz) 50/60
相数 単相
所需最大电力(VA) 1200
输出频率(Hz) 560
重量(kg) 11
标准附属品 ・输入电缆(5m): 1根
・远控接插头:1个
・使用说明书 (本体,通信):各一本