TG420M
■全方位安装
■轻巧设计
■节能
■分子泵停止与启动时间短
■附带维护警报机能
■低振动
■无需调整
■自动校准
■可控制转子旋转速度
■大流量排气
■多种通信模式
■符合安全规格 NRTL/SEMI-S2/CE
用途
・半导体制造
・电子枪排气,离子源排气
・FPD制造
・表面处理,表面改质
・各种电子部件的制造
・分析,试验装置
・管球制造,光学部件制造
・加速器,放射线设施,核聚变研究
・热处理
・研究开发
规格
吸气口法兰 | VG150 CF160 ISO-B160 |
|
排气速度 | N2 (L/s) | 400 |
N2(附加金属保护网) (L/s) | 370 | |
H2 (L/s) | 300 | |
最大压缩比 | N2 | 1×108 |
H2 | 4.5×103 | |
极限压力 | VG・ISO-B/CF (Pa) | <1×10-6 / <1×10-7 |
VG・ISO-B/CF (Torr) | <7.5×10-9 / <7.5×10-10 | |
最大气体流量※1 | N2 (sccm) | 2000 |
启动时间 | (min) | 2~3 |
停止时间 | (min) | 4~5 |
允许辅助压力 | (Pa / Torr) | 400 / 3 |
推荐辅助泵 | (L/min) | ≧160 |
安装角度 | 任意 | |
重量 | VG・ISO-B/CF(kg) | 14/17 |
特殊规格 (详情请咨询销售人员。) |
-耐腐蚀型 -耐反应生成物型 TG-MI -极低振动型 TG-ML |
外观尺寸表
Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ |
VG150 | φ235 | 16 | 225 |
CF160 | φ203 | 22 | 230 |
ISO-B160 | φ225 | 16 | 230 |
性能曲线
控制器
控制器型式 | TC010MA |
输入电压(ACV) | 200-240(±10%) |
输入频率(Hz) | 50/60 |
相数 | 単相 |
所需最大电力(VA) | 1200 |
输出频率(Hz) | 560 |
重量(kg) | 11 |
标准附属品 | ・输入电缆(5m): 1根 ・远控接插头:1个 ・使用说明书 (本体,通信):各一本 |