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产品信息

TG420M

  • TG420M

　■全方位安装
　■轻巧设计
　■节能
　■分子泵停止与启动时间短
　■附带维护警报机能
　■低振动
　■无需调整
　■自动校准
　■可控制转子旋转速度
　■大流量排气
　■多种通信模式
　■符合安全规格　NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・分析，试验装置
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发


规格

吸气口法兰 VG150
CF160
ISO-B160
排气速度 N2 (L/s) 400
N2(附加金属保护网) (L/s) 370
H2 (L/s) 300
最大压缩比 N2 1×108　
H2 4.5×103　
极限压力 VG・ISO-B/CF (Pa) <1×10-6 / <1×10-7　
VG・ISO-B/CF (Torr) <7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大气体流量※1 N2 (sccm) 2000
启动时间 (min)  2~3
停止时间 (min) 4~5
允许辅助压力 (Pa / Torr) 400 / 3　
推荐辅助泵 (L/min) ≧160
安装角度 任意
重量 VG･ISO-B/CF(kg)   14/17
特殊规格
(详情请咨询销售人员。)		 -耐腐蚀型
-耐反应生成物型 TG-MI
-极低振动型 TG-ML
  • ※1：辅助泵的容量是320L/min情况下的容许最大流量
  • [ 使用周囲温度 ]
  • 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
  • [ 对应气体种类 ]
  • 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。
    关于对应的气体种类请咨询销售人员。

外观尺寸表

外观尺寸表


  • Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ
    VG150 φ235 16 225
    CF160 φ203 22 230
    ISO-B160 φ225 16 230
  • ●吸气口法兰对称分布于排气口。
  • ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

性能曲线

性能曲线
性能曲线
  • ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

控制器

控制器


控制器


控制器型式 TC010MA
输入电压(ACV) 200-240(±10%)
输入频率(Hz) 50/60
相数 単相
所需最大电力(VA) 1200
输出频率(Hz) 560
重量(kg) 11
标准附属品 ・输入电缆(5m)： 1根
・远控接插头：1个
・使用说明书 (本体，通信)：各一本