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TG420M
■全方位安装 ■轻巧设计 ■节能 ■分子泵停止与启动时间短 ■附带维护警报机能 ■低振动 ■无需调整 ■自动校准 ■可控制转子旋转速度 ■大流量排气 ■多种通信模式 ■符合安全规格 NRTL/SEMI-S2/CE
用途
・半导体制造・电子枪排气,离子源排气・FPD制造・表面处理,表面改质・各种电子部件的制造・分析,试验装置・管球制造,光学部件制造・加速器,放射线设施,核聚变研究・热处理・研究开发
规格
外观尺寸表
性能曲线
控制器
产品信息