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磁悬浮轴承型复合分子泵TGkine®-R系列
TGkine-R系列磁悬浮复合分子泵具备了磁悬浮复合分子泵(控制器・电源一体型)TGkine-B系列优秀的产品性能及广受好评的特性,本系列更搭载了将工作数据、轴承使用次数等记忆在泵本体中的存储功能,即使在维修期间更换控制器,也能够传输数据。
涡轮分子泵内部图解(磁悬浮轴承)
产品群
TGkine2200M-R
TGkine3300M-R / 3400M-R
TGkine3800M-R / 4200M-R
耐反应生成物 磁悬浮复合分子泵 TGkineMI-R系列
其他系列