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油润滑滚珠轴承复合分子泵系列TG系列
使用了油润滑滚珠轴承。提供排气速度200L/s~5500L/s的耐腐蚀型产品,可用于腐蚀性气体排气。
涡轮分子泵内部图解(油润滑轴承)
产品群
TG203
TG553
TG1003
TG1303
TG1810/TG1813
TG2813
TG3213
TG3413
TG5000/TG5003
TG5500/5503
其他系列