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极低振动型TG-ML系列
■大幅度减低了振动的TG-ML系列
・半导体制造工艺已经步入到 进一步的「微小化」,「高度集成化」。并且,在分析,测量,检查工序也要求「高精度化」、「高性能化」。对于实现微细加工以及微细领域的一些测量分析来说,即便提升了设备的控制技术,振动会直接影响产品的检测工艺。因此,真空泵作为设备的元件之一,减振成为重要的课题之一。
■TG-ML系列的振动特性
・成功把真空泵泵体的振动值成功的控制在1nm以内! ※本公司的测定方法
・如果安装专用减振器,还可以再把振动值降低一个数量级!
用途
・ EUV露光机等新一代半导体制造
・高精度、高性能的电子显微镜,分析设备,测量设备等
规格
外观尺寸表
详情请咨询销售人员。
性能曲线
控制器
产品信息