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极低振动型TG-ML系列
■大幅度减低了振动的TG-ML系列
・半导体制造工艺已经步入到 进一步的「微小化」，「高度集成化」。并且，在分析，测量，检查工序也要求「高精度化」、「高性能化」。对于实现微细加工以及微细领域的一些测量分析来说，即便提升了设备的控制技术，振动会直接影响产品的检测工艺。因此，真空泵作为设备的元件之一，减振成为重要的课题之一。
■TG-ML系列的振动特性
・成功把真空泵泵体的振动值成功的控制在1nm以内！ ※本公司的测定方法
・如果安装专用减振器，还可以再把振动值降低一个数量级！
用途
・ EUV露光机等新一代半导体制造
・高精度、高性能的电子显微镜，分析设备，测量设备等
规格
| TG390ML | TG420ML | TG900ML | TG1300ML | ||
| 吸气口法兰 | VG100 CF100 ISO-B100 |
VG150 CF160 ISO-B160 |
VG150 CF160 ISO-B160 |
VG200 CF200 ISO-B200 |
|
| 排气速度 | N2 (L/s) | 340 | 400 | 900 | 1300 |
| N2 (附加金属保护网)(L/s) | 320 | 370 | 860 | 1230 | |
| H2 (L/s) | 290 | 300 | 1050 | 1200 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 | |||
| H2 | 4.5×103 | 1.5×104 | |||
| 极限压力 | VG・ISO-B/CF (Pa) | < 1×10-6/< 1×10-7 | |||
| VG・ISO-B/CF (Torr) | < 7.5×10-9/< 7.5×10-10 | ||||
| 启动时间 (min) | 2-3 | 4-5 | |||
| 停止时间 (min) | 4-5 | ||||
| 允许辅助压力 | (Pa) | 400 | 500 | ||
| (Torr) | 3 | 3.8 | |||
| 推荐辅助泵 (L/min) | ≧160 | ≧250 | |||
| 重量 (kg) VG・ISO-B/CF | 14/17 | 34/42 | |||
| 控制器型号 | TC010MA | ||||
外观尺寸表
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性能曲线
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控制器
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