产品信息

极低振动型TG-ML系列

  • 极低振动型TG-ML系列

■大幅度减低了振动的TG-ML系列

 ・半导体制造工艺已经步入到 进一步的「微小化」,「高度集成化」。并且,在分析,测量,检查工序也要求「高精度化」、「高性能化」。对于实现微细加工以及微细领域的一些测量分析来说,即便提升了设备的控制技术,振动会直接影响产品的检测工艺。因此,真空泵作为设备的元件之一,减振成为重要的课题之一。

 

■TG-ML系列的振动特性

 ・成功把真空泵泵体的振动值成功的控制在1nm以内!  ※本公司的测定方法

 ・如果安装专用减振器,还可以再把振动值降低一个数量级!

用途

 EUV露光机等新一代半导体制造

高精度、高性能的电子显微镜,分析设备,测量设备等


规格

  TG390ML TG420ML TG900ML TG1300ML
吸气口法兰 VG100
CF100
ISO-B100
VG150
CF160
ISO-B160
VG150
CF160
ISO-B160
VG200
CF200
ISO-B200
排气速度 N2 (L/s) 340 400 900 1300
N2 (附加金属保护网)(L/s) 320 370 860 1230
H(L/s) 290 300 1050 1200
最大压缩比 N2 1×108
H2 4.5×103 1.5×104
极限压力 VG・ISO-B/CF (Pa) < 1×10-6/< 1×10-7
VG・ISO-B/CF (Torr) < 7.5×10-9/< 7.5×10-10
启动时间 (min) 2-3 4-5
停止时间 (min) 4-5
允许辅助压力 (Pa) 400 500
(Torr) 3 3.8
推荐辅助泵 (L/min) ≧160 ≧250
重量 (kg) VG・ISO-B/CF 14/17 34/42
控制器型号 TC010MA

外观尺寸表

外观尺寸表


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性能曲线

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控制器

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