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     cm <半角英数>
  • チャンバーの材質
    例)SUS304 <全角>
  • チャンバーの内部機器類
    例)電子銃、蒸着源 <全角>
  • 排気容積
     ㎥ <半角英数>
  • ポンプ-装置間の配管状況
    例)配管口径・距離 <全角>
  • 希望到達圧力
     Pa <半角英数>
  • プロセス(常用)圧力
     Pa <半角英数>
  • 吐出圧力
     Pa <半角英数>
  • 排気時間(到達圧力まで)
     分 <半角英数>
  • 排気時間(プロセス圧力まで)
     分 <半角英数>
  • 吸入温度
    <半角英数>
  • 吸引(導入)ガス種類
    例)空気、水蒸気 <全角>
  • 吸入(導入)ガス量
     sccm <半角英数>
  • 運転状況
     h/1バッチ <半角英数>
  • 電気(電圧)
     V <半角英数>
  • 電気(周波数)
  • 電気(相数)
    3相
  • 冷却水供給温度
     ℃ <半角英数>
  • 圧縮空気
     MPaG <半角英数>
  • ■ 吸入条件
  • A)吸入圧力
     Pa <半角英数>
  • B)吸入温度
     ℃ <半角英数>
  • C)吸引(導入)ガス種類
    <全角>
  • D)吸引(導入)ガス量
     Kg/h <半角英数>
  • ■ 減圧条件(もし有れば)
  • A)排気容量
     ㎥ <半角英数>
  • B)リーク量
     Kg/h <半角英数>
  • C)減圧時間
     分 <半角英数>
  • ■ ユーティリティ条件
  • A)駆動蒸気(飽和)
     Kgf/㎠G <半角英数>
  • B)冷却水供給温度
     ℃ <半角英数>
  • 冷却水種類
  • ■ 構造条件
  • A)エジェクタ材質
    <全角>
  • B)コンデンサ材質
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  • C)コンデンサ型式(BC or SC)
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  • 3)SC強度計算規格

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