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耐反应生成物TG-MI系列
针对内部容易出现反应生成物的设备,需要采取措施来防止设备内部反应生成物的堆积与固化。本公司是世界上第一家开发绝热结构/自加热机制,采用此构造能有效降低反应生成物的堆积与固化,充分延长分子泵的寿命与维护周期。
■以往产品的反应生成物对策
包括对象部位的周围整体的加热。 ・热度会分散。不能有效利用。 ・其他部位也会受到热度的影响。
■通过使用TG-MI系列 使用外部加热器实现升温,同时利用在泵内部产生的气体的摩擦热,来使接触气体部位高效率地升温 ・可以减小外部加热器的输出功率,得到节能的效果。 ・可以防止主要部分受到热度影响,防止泵受损。 ・排气口采用了绝缘材料。保持了最佳温度,防止排气口堆积生成物。
用途
规格
※1:辅助泵的容量为320L/min(TG390/420MI)、1000L/min(TG900/1300/2400MI)情况下的最大容许流量。
外观尺寸表
详情请咨询销售人员。
性能曲线
控制器
产品信息