产品信息

  对于容易堆积反应生成物的设备来说，采取措施防止在设备内部的反应生成物的堆积、固化很重要。TG-MI是大阪真空通过独特的设计手法将隔热构造/自我升温机构（日本知识产权第3098140号）融入分子泵中， 实现了减少反应生成物的堆积与固化的系列产品。充分延长了分子泵的寿命与维护周期。

■以往产品的反应生成物对策

　包括对象部位的周围整体的加热。
　・热度会分散。不能有效利用。
　・其他部位也会受到热度的影响。

■通过使用TG-MI系列
　使用外部加热器实现升温，同时利用在泵内部产生的气体的摩擦热，来使接触气体部位高效率地升温
　・可以减小外部加热器的输出功率，得到节能的效果。
　・可以防止主要部分受到热度影响，防止泵受损。
　・排气口采用了绝缘材料。保持了最佳温度，防止排气口堆积生成物。