产品信息

耐反应生成物TG-MI系列

  • 耐反应生成物TG-MI系列
  • 耐反应生成物TG-MI系列

  对于容易堆积反应生成物的设备来说,采取措施防止在设备内部的反应生成物的堆积、固化很重要。TG-MI是大阪真空通过独特的设计手法将隔热构造/自我升温机构(日本知识产权第3098140号)融入分子泵中, 实现了减少反应生成物的堆积与固化的系列产品。充分延长了分子泵的寿命与维护周期。

 

■以往产品的反应生成物对策

 包括对象部位的周围整体的加热。
 ・热度会分散。不能有效利用。
 ・其他部位也会受到热度的影响。

 

■通过使用TG-MI系列
 使用外部加热器实现升温,同时利用在泵内部产生的气体的摩擦热,来使接触气体部位高效率地升温
 ・可以减小外部加热器的输出功率,得到节能的效果。
 ・可以防止主要部分受到热度影响,防止泵受损。
 ・排气口采用了绝缘材料。保持了最佳温度,防止排气口堆积生成物。

用途

・半导体、FPD、MEMS制造等蚀刻设备

易生成反应生成物的设备


规格

  TG390MI TG420MI TG900MI TG1300MI TG2400MI
吸气口法兰 VG100
ISO-B100
VG150
ISO-B160
VG150
ISO-B160
VG200
ISO-B200
VG250
ISO-B250
排气速度 N2(L/s) 340 400 900 1300 2400
N2(附加金属保护网)(L/s) 320 370 860 1230 2300
H2(L/s) 290 300 1050 1200 1100
最大压缩比 N2 1×108
H2 4.5×103 1.5×104 8.3×102
极限压力 (Pa/Torr) < 1×10-6/< 7.5×10-9
最大气体流量※1  N2(sccm) 1000 3000
启动时间 (min) 2-3 4-5
停止时间 (min) 4-5
允许辅助压力 (Pa/Torr) 350/2.6 500/3.8 150/1.1
推荐辅助泵 (L/min) ≧160 ≧250 ≧500
重量 (kg)  18 42 56
控制器型号 TC010MAT
  • ※1:辅助泵的容量为320L/min(TG390/420MI)、1000L/min(TG900/1300/2400MI)情况下的最大容许流量。

外观尺寸表

外观尺寸表


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性能曲线

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控制器

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