产品信息

涡轮分子泵由多层转子叶片和定子叶片组成。 下图所示的是叶片的角度以及旋转方向的关系 气体分子从高真空侧进入泵内，附着于转子叶片后将按照麦克斯韦分布朝不同方向脱离。 然而，由于叶片的倾斜角度和旋转，分子飞入下一层，并且容易穿过定子叶片再向下。 同时，从下层飞入并通过固定叶片后逆行的气体分子，也能通过与转子叶片碰撞再次飞到下一层。 叶片的角度是，上层的气体分子容易通过(排气方向的流向和逆流的差较大)的角度，而下层的气体分子不容易逆行的(排气方向的流向和逆流的比较大)角度。 在分子流域，涡轮分子泵是通过该转子叶片和定子叶片发挥基本性能。

本公司在转子叶片和定子叶片组合基础上增加了“螺纹槽”构造。被压缩到圆筒状的旋转部（转子）的壁面的气体分子，最终沿着固定部分（定子）的螺纹槽，移到泵的排气口一侧。 由于螺纹槽的作用，涡轮分子泵(复合分子泵)不仅在分子流域，在粘滞流也能排气，尤其在粘滞流时可以大流量排气。 因此，涡轮分子泵的适用压力范围被扩展，得到了很多用途的广泛应用。此外，由于可以在高背压下运转，也有可能使用更小的、压力更高的辅助泵。