产品信息

超高真空型TG-MU

  • 超高真空型TG-MU

■极限真空度高的TG-MU系列

 ・在超真空环境下,残留气体中最多的是氢气等比较轻的气体。通过提高轻气体的排气性能,实现较好的真空环境。
 ・如果初期排气达到更好的真空环境的话,在残留气体较少的情况下实现制造加工工艺,提高产品品质。

用途

・溅射设备,分析・试验设备等
・高性能半导体,电子元件等开发制造
・加速器,放射光设施,核聚变研究等


规格

  TG900MU TG1300MU
吸气口法兰 CF160 CF200
排气速度 N2(L/s) 900 1300
N2(附带金属保护网)(L/s) 860 1230
H2(L/s) 1050 1200
最大压缩比 N2 1×108
H2 6.0×104
极限压力 (Pa/Torr) < 1×10-8/< 7.5×10-11
最大气体流量※1 N2 (sccm) 3000
启动时间(min) 4-5
停止时间(min) 4-5
允许辅助压力 (Pa/Torr) 500/3.8
推荐辅助泵(L/min) ≧250
重量(kg) 42
控制器型号 TC010MA
  • ※1:辅助泵的容量是1000L/min情况下的容许最大流量
  • ※2:外观尺寸图和标准形相同。

外观尺寸表

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性能曲线

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控制器

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