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TG2813
■可提供标准型与耐腐蚀气体型两种分子泵
■耐大气冲击能力强
■耐外部振动
■多种通信模式
■符合安全规格
NRTL/SEMI-S2
用途
・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发
※无油工艺排气请选择TG-F系列、TG-M系列、TGkine系列
规格
| 吸气口法兰 | VG250 ISO-B250 |
|
| 抽气速度 | N2 (L/s) | 2800 |
| N2(附带金属保护网) (L/s) | 2600 | |
| H2 (L/s) | 2400 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 6×103 | |
| 极限压力 | VG・ISO-B (Pa/Torr) | <1×10-6/ <7.5×10-9 |
| 最大气体流量※1 | N2 (sccm) | 543 |
| 启动时间 | (min) | 10-15 |
| 停止时间 | (min) | 25-28 |
| 允许辅助压力 | (Pa / Torr) | 270/2 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | 1500 |
| 润滑油量 | (mL) | 260 |
| 安装角度 | 垂直（±10°） | |
| 重量 | (kg) | 100 |
- ※1：辅助泵的容量是3000L/min情况下的最大容许流量
- [ 使用环境温度]
- 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
- [ 对应气体种类 ]
- 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。
外观尺寸表
| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ | Ⓔ |
| VG250 | φ350 | 21 | 454.5 | 392.5 |
| ISO-B250 | φ335 | 16 | 454.5 | 392.5 |
- ●吸气口法兰对称分布于排气口。
- ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
- ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
控制器
| 控制器型 | TC3213 |
| 输入电压(ACV) | 200-230 (±10%) |
| 输入频率(Hz) | 50/60 |
| 相数 | 単相 |
| 所需最大电力(VA) | 2200 |
| 输出频率(Hz) | 360 |
| 重量(kg) | 8.2 |
| 标准附属品 | ・输入接插头 1个 ・远控接插头 1个 ・通信接插头 1个 ・杂波过滤器1个 ・使用说明书(本体，通信)1套 |