TG2813
■可提供标准型与耐腐蚀气体型两种分子泵
■耐大气冲击能力强
■耐外部振动
■多种通信模式
■符合安全规格
NRTL/SEMI-S2
用途
・半导体制造
・电子枪排气,离子源排气
・FPD制造
・表面处理,表面改质
・各种电子部件的制造
・管球制造,光学部件制造
・加速器,放射线设施,核聚变研究
・热处理
・研究开发
※无油工艺排气请选择TG-F系列、TG-M系列、TGkine系列
规格
吸气口法兰 | VG250 ISO-B250 |
|
抽气速度 | N2 (L/s) | 2800 |
N2(附带金属保护网) (L/s) | 2600 | |
H2 (L/s) | 2400 | |
最大压缩比 | N2 | 1×108 |
H2 | 6×103 | |
极限压力 | VG・ISO-B (Pa/Torr) | <1×10-6/ <7.5×10-9 |
最大气体流量※1 | N2 (sccm) | 543 |
启动时间 | (min) | 10-15 |
停止时间 | (min) | 25-28 |
允许辅助压力 | (Pa / Torr) | 270/2 |
推荐辅助泵 | (L/min) | 1500 |
润滑油量 | (mL) | 260 |
安装角度 | 垂直(±10°) | |
重量 | (kg) | 100 |
外观尺寸表
Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ | Ⓔ |
VG250 | φ350 | 21 | 454.5 | 392.5 |
ISO-B250 | φ335 | 16 | 454.5 | 392.5 |
性能曲线
控制器
控制器型 | TC3213 |
输入电压(ACV) | 200-230 (±10%) |
输入频率(Hz) | 50/60 |
相数 | 単相 |
所需最大电力(VA) | 2200 |
输出频率(Hz) | 360 |
重量(kg) | 8.2 |
标准附属品 | ・输入接插头 1个 ・远控接插头 1个 ・通信接插头 1个 ・杂波过滤器1个 ・使用说明书(本体,通信)1套 |