产品信息

TG2813

用途

・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发
※无油工艺排气请选择TG-F系列、TG-M系列、TGkine系列

• 规格
• 外观尺寸表
• 性能曲线
• 控制器

规格

吸气口法兰		VG250 ISO-B250
抽气速度	N2 (L/s)	2800
	N2(附带金属保护网) (L/s)	2600
	H2 (L/s)	2400
最大压缩比	N2	1×108
	H2	6×103
极限压力	VG・ISO-B (Pa/Torr)	<1×10-6/ <7.5×10-9
最大气体流量※1	N2 (sccm)	543
启动时间	(min)	10-15
停止时间	(min)	25-28
允许辅助压力	(Pa / Torr)	270/2
推荐辅助泵	(L/min)	1500
润滑油量	(mL)	260
安装角度		垂直（±10°）
重量	(kg)	100

• ※1：辅助泵的容量是3000L/min情况下的最大容许流量
• [ 使用环境温度]
• 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
• [ 对应气体种类 ]
• 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。

外观尺寸表

Ⓐ	Ⓑ	Ⓒ	Ⓓ	Ⓔ
VG250	φ350	21	454.5	392.5
ISO-B250	φ335	16	454.5	392.5

• ●吸气口法兰对称分布于排气口。
• ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
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性能曲线

• ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

控制器

控制器型	TC3213
输入电压(ACV)	200-230 (±10%)
输入频率(Hz)	50/60
相数	単相
所需最大电力(VA)	2200
输出频率(Hz)	360
重量(kg)	8.2
标准附属品	・输入接插头 1个 ・远控接插头 1个 ・通信接插头 1个 ・杂波过滤器1个 ・使用说明书(本体，通信)1套