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TG553

用途

・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发
※无油工艺排气请选择TG-F系列、TG-M系列、TGkine系列

• 规格
• 外观尺寸表
• 性能曲线
• 控制器

规格

吸气口法兰		VG150 CF160 ISO-B160
抽气速度	N2 (L/s)	550
	N2(附带金属保护网） (L/s)	430
	H2 (L/s)	370
最大压缩比	N2	1×108
	H2	3×103
极限压力	VG・ISO-B/CF (Pa)	<1×10-6/ < 1×10-7
	VG・ISO-B/CF (Torr)	<7.5×10-9/< 7.5×10-10
最大气体流量※1	N2 (sccm)	1500
启动时间	(min)	8-13
停止时间	(min)	8-11
允许辅助压力	(Pa / Torr)	300/2.3
推荐辅助泵	(L/min)	250
润滑油量	(mL)	260
安装角度		垂直（±10°）
重量	(kg)	41
控制器型号		TC553

• ※1：辅助泵的容量是500L/min情况下的最大容许流量
• [ 使用环境温度]
• 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
• [ 对应气体种类 ]
• 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。

外观尺寸表

Ⓐ	Ⓑ	Ⓒ	Ⓓ	Ⓔ
VG150	φ235	16	402	360
CF160	φ203	22	402	360
ISO-B160	φ225	16	402	360

• ●吸气口法兰对称分布于排气口。
• ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

性能曲线

• ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

控制器

控制器型	TC553
输入电压(ACV)	200-230(±10%)
输入频率(Hz)	50/60
相数	单相
所需最大电力(VA)	1200
输出频率(Hz)	400
重量(kg)	8.2
标准附属品	・输入接插头 1个 ・远控接插头 1个 ・通信接插头 1个 ・杂波过滤器1个 ・使用说明书(本体，通信)1套