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TG3413
■可提供标准型与耐腐蚀气体型两种分子泵 ■耐大气冲击能力强 ■耐外部振动 ■多种通信模式 ■符合安全规格 NRTL/SEMI-S2
用途
・半导体制造・电子枪排气,离子源排气・FPD制造・表面处理,表面改质・各种电子部件的制造・管球制造,光学部件制造・加速器,放射线设施,核聚变研究・热处理・研究开发※无油工艺排气请选择TG-F系列、TG-M系列、TGkine系列
规格
外观尺寸表
性能曲线
控制器
产品信息