下载产品手册需“新会员注册。”
※如果您需要下载产品手册,请进行账户登录。 请您进行账户登录或新会员注册进行账户登录。 调整网路配置文件(GSD)、账户登录后的用户可下载、电子版产品手册(PDF)、2D-CAD数据(DXF)、3D-CAD数据(STEP、IGES)
按产业领域查找
按产品分类查找
TG5000/TG5003
■可提供标准型与耐腐蚀气体型两种分子泵 ■世界最大的复合分子泵
■耐外部冲击强
用途
・半导体制造・电子枪排气,离子源排气・FPD制造・表面处理,表面改质・各种电子部件的制造・管球制造,光学部件制造・加速器,放射线设施,核聚变研究・热处理・研究开发※无油工艺排气请选择TG-F系列、TG-M系列、TGkine系列
规格
外观尺寸表
性能曲线
※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。
控制器
产品信息