产品信息

TG5000/TG5003

  • TG5000/TG5003

 ■可提供标准型与耐腐蚀气体型两种分子泵

 ■世界最大的复合分子泵


 ■耐外部冲击强

用途

・半导体制造
・电子枪排气,离子源排气
・FPD制造
・表面处理,表面改质
・各种电子部件的制造
・管球制造,光学部件制造
・加速器,放射线设施,核聚变研究
・热处理
・研究开发
※无油工艺排气请选择TG-F系列TG-M系列TGkine系列


规格

吸气口法兰 VG450
抽气速度 N2 (L/s) 5000
N2(附带金属保护网) (L/s) 4700
H2 (L/s) 4000
最大压缩比 N2 1×108
H2 5×103
极限压力 VG (Pa/Torr) <1×10-6/ <7.5×10-9
最大气体流量※1 N2 (sccm) 1200
启动时间 (min)  25-35
停止时间 (min) 30-40
允许辅助压力 (Pa / Torr) 200/1.5
推荐辅助泵 (L/min) 1500
润滑油量 (mL) 1000
安装角度 垂直(±10°)
重量 (kg) 250
  • ※1:辅助泵的容量是3000L/min情况下的最大容许流量
  • [ 使用环境温度]
  • 极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度是10~40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10~35℃。
  • [ 对应气体种类 ]
  • 由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。

外观尺寸表

外观尺寸表


VG450 φ575 25 600 570
  • ●吸气口法兰对称分布于排气口。
  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。
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性能曲线

性能曲线
性能曲线

※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

控制器

控制器


控制器


控制器型 TC5503
输入电压(ACV) 200-230 (±10%)
输入频率(Hz) 50/60
相数 単相
所需最大电力(VA) 2200
输出频率(Hz) 500
重量(kg) 8.7
标准附属品 ・输入接插头 1个
・远控接插头 1个
・通信接插头 1个
・杂波过滤器1个
・油位传感器电缆接头 1个
・使用说明书(本体,通信)1套