产品信息

TG203

　■可提供耐腐蚀气体型分子泵

　■耐大气冲击能力强

　■耐外部振动

　■多种通信模式

　■符合安全规格
　　NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发
※无油工艺排气请选择TG-F系列、TG-M系列、TGkine系列

规格
外观尺寸表
性能曲线
控制器

规格

吸气口法兰		VG100 CF100 ISO-R100
抽气速度	N₂ (L/s)	200
	N₂(附带金属保护网 (L/s)	140
	H₂ (L/s)	150
最大压缩比	N₂	1×10⁸
最大压缩比	H₂	4×10³
极限压力	VG・ISO-R/CF (Pa)	<1×10^-6/ < 1×10^-7
极限压力	VG・ISO-R/CF (Torr)	<7.5×10^-9/< 7.5×10^-10
最大气体流量^※1	N₂ (sccm)	543
启动时间	(min)	4-6
停止时间	(min)	4-6
允许辅助压力	(Pa / Torr)	550/4.1
推荐辅助泵	(L/min)	80
润滑油量	(mL)	70
安装角度		垂直（±10°）
重量	(kg)	11

※1：辅助泵的容量是160L/min情况下的最大容许流量
[ 使用环境温度]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。

外观尺寸表

Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ

VG100 φ185 15 264 238

CF100 φ152 21 264 238

ISO-R100 φ130 12 262 236
●吸气口法兰对称分布于排气口。
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

性能曲线

※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

控制器

控制器型号	TC203
输入电压(ACV)	100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
输入频率(Hz)	50/60
相数	单相
最大所需电力(VA)	610
输出频率(Hz)	800
重量(kg)	2.7
标准附属品	・输入接插头：1个・远控接插头：1个・通信接插头：1个・使用说明书(本体、通信)：各1套

Ⓐ	Ⓑ	Ⓒ	Ⓓ	Ⓔ
VG100	φ185	15	264	238
CF100	φ152	21	264	238
ISO-R100	φ130	12	262	236