产品信息

耐反应生成物 磁悬浮复合分子泵 TGkine-MI系列

  • 耐反应生成物 磁悬浮复合分子泵 TGkine-MI系列
  • 耐反应生成物 磁悬浮复合分子泵 TGkine-MI系列

  对于容易堆积反应生成物的设备来说,采取措施防止在设备内部的反应生成物的堆积、固化很重要。TG-MI是大阪真空通过独特的设计手法将隔热构造/自我升温机构(日本知识产权第3098140号)融入分子泵中, 实现了减少反应生成物的堆积与固化的系列产品。充分延长了分子泵的寿命与维护周期。

 

■以往产品的反应生成物对策

 包括对象部位的周围整体的加热。
 ・热度会分散。不能有效利用。
 ・其他部位也会受到热度的影响。

 

■通过使用TGkine-MI系列
 使用外部加热器实现升温,同时利用在泵内部产生的气体的摩擦热,来使接触气体部位高效率地升温
 ・可以减小外部加热器的输出功率,得到节能的效果。
 ・可以防止主要部分受到热度影响,防止泵受损。
 ・排气口采用了绝缘材料。保持了最佳温度,防止排气口堆积生成物。

用途

・半导体、FPD、MEMS制造等蚀刻设备

易生成反应生成物的设备


规格

型号 TGkine2200MI TGkine3300MI//TGkine3400MI
吸气口法兰 ISO-B250 ISO-B320/VG300/VG350

排气速度

N2(L/s) 2200 3300
N2(附带金属保护网)(L/s) 2100 3100
H2(L/s) 1800 2700
最大压缩比 N2 > 2×108 > 1×108
H2 3×103
极限压力  (Pa/Torr) < 2×10-7/1.5×10-9
最大气体流量 N2(sccm) 5000 2500
Ar(sccm) 2600 1800
启动时间(min) ≦10 ≦11
停止时间(min) ≦10 ≦13
允许辅助压力 (Pa/Torr) 100 100/110
(Torr) 0.75 0.75/0.82
推荐辅助泵(L/min) ≧2000
重量(kg)  65 73/74/76

外观尺寸表

详情请咨询销售人员。

性能曲线

详情请咨询销售人员。