产品信息

TGkine3300M

  • TGkine3300M

 ■将电源控制器与分子泵一体化
 ■省电设计
 ■轻巧设计
 ■对应防护等级IP54
 ■多种通信接口
 ■对应国际规格
   CE/NRTL/SEMI-S2

用途

・半导体制造设备

・FPD制造设备

・太阳能电池制造设备

・玻璃/镜片等光学元件加工

・薄膜加工

・加速器/宇宙环境模拟设备


规格

型号 TGkine3300M TGkine3300M-40 TGkine3400M
吸气口法兰 VG300
ISO-B320
VG300
ISO-B320
VG350
排气口法兰 KF40/KF50
排气速度 N2(L/s) 3300
N2(附带金属防护网) (L/s) 3100
H2(L/s) 2700
最大压缩比 N2 >1×108
H2 3×103
极限压力 VG・ISO-B(Pa) <2×10-7
VG・ISO-B(Torr) <7.5×10-9
最大气体流量 N2 (sccm) 2100 4000 2100
启动时间 (min) ≦11
停止时间  (min) ≦13
允许辅助压力  (Pa/Torr) 170/1.28※1
推荐辅助泵  (L/min) ≧2000
输入电压  (V) AC200-240V
-15%+10%
  单相
 频率 (Hz) 50/60
 电流 (A) Max. 5.3
 所需电力 (kVA) Max. 0.9
通信接口
(规格可选)
Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet
防护等级 IP54
安装角度 任意
重量 VG・ISO-B(kg) 69
控制器型号 控制器与分子泵一体型
特殊型号
(详情请咨询销售人员)
防腐蚀型
  • ※1:有氮气时的可运转辅助压力
  • [ 使用环境温度 ]
  • 极限压力保证环境温度是10~23℃,容许环境温度是10~40℃。
  • 极限压力保证冷却水温是30℃以下,冷却水温是15~30℃。
  • [ 对应的气体种类 ]
  • 由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。
    关于对应的气体种类请咨询销售人员。
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外观尺寸表

外观尺寸表


型号 吸气口法兰 A B
TGkine3300M/3300MI ISO-B320 φ425 20
VG300 φ400 16
TGkine3400M/3400MI VG350 φ450 20
  • ※排气口提供KF50,详情请咨询销售人员。
  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。
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性能曲线

性能曲线
性能曲线
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