产品信息

TGkine1700M/TGkine2200M

  • TGkine1700M/TGkine2200M

 ■将电源控制器与分子泵一体化
 ■省电设计
 ■轻巧设计
 ■对应防护等级IP54
 ■多种通信接口
 ■对应国际规格
   CE/NRTL/SEMI-S2

用途

・半导体制造设备

・FPD制造设备

・太阳能电池制造设备

・玻璃/镜片等光学元件加工

・薄膜加工

・加速器/宇宙环境模拟设备


规格

型号※1 TGkine1700M TGkine2200M
吸气口法兰 ISO-B200
VG200
ISO-B250
VG250
排气口法兰※2 KF40/KF50
排气速度 N2 (L/s) 1650 2200
N2
(附加金属保护网)(L/s)
1570 2100
H2 (L/s) 1550 1800
最大气体流量※3、※4 N2 (sccm) 4400 5000
Ar (sccm) 2600
最大压缩比 N2 >2×108
H2 3×103
极限压力※5 (Pa) <2×10-7
(Torr) <1.5×10-9
最大排气口压力※6 (Pa) 220
(Torr) 1.65
启动时间 (min) ≦10
停止时间 (min) ≦10
输入电压  (V) AC200-240V
 相数 単相
 频率 (Hz) 50/60
 电流  (A) Max. 5.3
 所需电力 (kVA) Max. 0.9
重量 (kg) 65 62

※1:关于型号,请咨询销售人员。

※2:根据型号规格有所不同

※3:1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)

※4:排气口的辅助压力是5000L/min情况下的数值。

※5:48小时烘烤后得到的数值。

※6:有氮气的情况下泵不会受损,可连续运转的最大排气口压力。

外观尺寸表

外观尺寸表


吸气口法兰 A B
ISO-B250 348.5 325
VG250 343.5 320
  • ※排气口提供KF50,详情请咨询销售人员。
  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

性能曲线

性能曲线
性能曲线

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