产品信息
- 大阪真空机器制作所 首页
- 产品信息
- 涡轮分子泵
- TGkine1700M/TGkine2200M
TGkine1700M/TGkine2200M
■将电源控制器与分子泵一体化
■省电设计
■轻巧设计
■对应防护等级IP54
■多种通信接口
■对应国际规格
CE/NRTL/SEMI-S2
用途
・半导体制造设备
・FPD制造设备
・太阳能电池制造设备
・玻璃/镜片等光学元件加工
・薄膜加工
・加速器/宇宙环境模拟设备
规格
| 型号※1 | TGkine1700M | TGkine2200M | |
| 吸气口法兰 | ISO-B200 VG200 |
ISO-B250 VG250 |
|
| 排气口法兰※2 | KF40/KF50 | ||
| 排气速度 | N2 (L/s) | 1650 | 2200 |
| N2 (附加金属保护网)(L/s) |
1570 | 2100 | |
| H2 (L/s) | 1550 | 1800 | |
| 最大气体流量※3、※4 | N2 (sccm) | 4400 | 5000 |
| Ar (sccm) | 2600 | ||
| 最大压缩比 | N2 | >2×108 | |
| H2 | 3×103 | ||
| 极限压力※5 | (Pa） | <2×10-7 | |
| (Torr） | <1.5×10-9 | ||
| 最大排气口压力※6 | (Pa) | 220 | |
| (Torr） | 1.65 | ||
| 启动时间 | (min) | ≦10 | |
| 停止时间 | (min) | ≦10 | |
| 输入电压 | (V) | AC200-240V | |
| 相数 | 単相 | ||
| 频率 | (Hz) | 50/60 | |
| 电流 | (A) | Max. 5.3 | |
| 所需电力 | (kVA) | Max. 0.9 | |
| 重量 | (kg） | 65 | 62 |
※1：关于型号，请咨询销售人员。
※2：根据型号规格有所不同
※3：1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
※4：排气口的辅助压力是5000L/min情况下的数值。
※5：48小时烘烤后得到的数值。
※6：有氮气的情况下泵不会受损，可连续运转的最大排气口压力。
外观尺寸表
| 吸气口法兰 | A | B |
| ISO-B250 | 348.5 | 325 |
| VG250 | 343.5 | 320 |
- ※排气口提供KF50，详情请咨询销售人员。
- ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。