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  • 高さ
    　cm ＜半角英数＞
  • チャンバーの材質
    例）SUS304　＜全角＞
  • チャンバーの内部機器類
    例）電子銃、蒸着源　＜全角＞
  • 排気容積
    　㎥ ＜半角英数＞
  • ポンプ－装置間の配管状況
    例）配管口径・距離　＜全角＞
  • 希望到達圧力
    　Pa ＜半角英数＞
  • プロセス（常用）圧力
    　Pa ＜半角英数＞
  • 吐出圧力
    　Pa ＜半角英数＞
  • 排気時間（到達圧力まで）
    　分 ＜半角英数＞
  • 排気時間（プロセス圧力まで）
    　分 ＜半角英数＞
  • 吸入温度
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    例）空気、水蒸気　＜全角＞
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  • 電気（電圧）
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    3相
  • 冷却水供給温度
    　℃ ＜半角英数＞
  • 圧縮空気
    　MPaG ＜半角英数＞
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    　Pa ＜半角英数＞
  • B）吸入温度
    　℃ ＜半角英数＞
  • C）吸引（導入）ガス種類
    ＜全角＞
  • D）吸引（導入）ガス量
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  • B）リーク量
    　Kg/h ＜半角英数＞
  • C）減圧時間
    　分 ＜半角英数＞
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  • 冷却水種類
  • ■ 構造条件
  • A）エジェクタ材質
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  • B）コンデンサ材質
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    HI-TECH VACUUM SERVICES (THAILAND) CO., LTD. FAX: +66-(0)35-740-790 FAX: +886-3-451-1347 E-mail: main@htvst.com
    TEL: +66-(0)35-740-787 FAX: +66-(0)35-740-790 E-mail: main@htvst.com
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    HI-TECH VACUUM SERVICES (M) SDN.BHD. Tel: +60-(0) 3 8024 8140, 8024 2097 8023 3858 FAX: +60-(0) 3 8024 2143, 8024 7026 E-mail: htvacuum@htvsm.com
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    TEL: +44-1506-46-02-32 FAX: +44-1506-46-02-22 E-mail: cpeachey@ebara