事例紹介

「Pd、Pd/Tiコーティングによる大幅な排気性能の向上」のご紹介

~高エネルギー加速器研究機構(KEK)様との共同研究~

 

当社は高エネルギー加速器研究機構(KEK)物質構造科学研究所 間瀬一彦准教授と共同で、真空容器内面にPd(パラジウム)及びPd/Ti(パラジウム/チタン)コーティングを施し、排気特性を測定しました。

真空容器と真空装置

 

その結果Pdコーティングにおいては排気時間が約1/7に短縮され、またPd/Tiコーティングにおいては排気時間が約1/5に短縮され、到達圧力が1桁低下しました。この排気時間の短縮により、サイクルタイムが短縮され生産性向上されることが期待されます。また、大気リークを繰り返しても排気特性は変わらないことを確認しております。

加速器・スペースチャンバー・電子顕微鏡・光電子分光装置・一般真空装置等での使用が期待できます。

詳細は弊社の営業担当者にお問い合わせください。

 

* 国際特許出願中

高エネルギー加速器研究機構(KEK)
「非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置」
PCT/JP2017/042682

 

** 関連ページ:
「超高真空を保つために ~KEK技術賞受賞!新しい非蒸発型ゲッターコーティング、非蒸発型ゲッターポンプの開発~」
https://www2.kek.jp/imss/news/2019/highlight/0531NEG/
 
 
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