磁気軸受形 ターボ分子ポンプ
ラインアップ
TGkine®-B SERIES
コントローラ・電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプ
TGkine®-R SERIES
磁気軸受形複合分子ポンプ
TG-M SERIES
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
TG-M7 SERIES
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
反応生成物対応
磁気軸受形ターボ分子ポンプ ラインアップ
コントローラ・電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプ
磁気軸受形複合分子ポンプ
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
反応生成物対応
