产品信息
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- 涡轮分子泵
- TGkine2200M-R
TGkine2200M-R
- 省电设计
- 在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。
※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。 - 支持多种通信接口规格 （兼容EtherCAT通信协定）
- 适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2
用途
- 半导体制造设备
- FPD制造设备
- 太阳能电池制造设备
- 玻璃/镜片等光学部件加工
- 镀膜工艺
- 加速器/宇宙环境模拟器
规格
外观尺寸表
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
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控制器
控制器型号 |
TC0321M |
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输入电压 |
(ACV) |
200～240 -15~+10% |
相数 |
单相 |
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输入频率 |
(Hz) |
50/60 |
所需最大电力 |
(kVA) |
0.9 |
质量 |
(kg) |
8 |
通信接口规格 |
Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・ |
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标准配件 |
・输入电缆(5m)：1本 |
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