产品信息

TG1400F

  • TG1400F

 ■全方位安装

 ■轻巧设计

 ■节能

 ■迅速启动

 

 ■使用破控功能可迅速停止

 

 ■耐大气冲击能力强

 

 ■多种通信模式

用途

・半导体制造
・电子枪排气,离子源排气
・FPD制造
・表面处理,表面改质
・各种电子部件的制造
・分析,试验装置
・管球制造,光学部件制造
・加速器,放射线设施,核聚变研究
・热处理
・研究开发

※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。


规格

型号 TG1400F
吸气口法兰  VG200/ISO-B200/CF200
排气速度 N2 (L/s) 1400
N2(保護金網付) (L/s) 1300
H2 (L/s) 750
最大压缩比  N2 1×108
H2 4.3×103
极限压力 (Pa/Torr) <1×10-6/<7.5×10-9
最大气体流量※1 (sccm) 450
启动时间 (min)  5.5-7
停止时间 (min)  15-18
允许辅助压力 (Pa/Torr) 330/2.5
推荐辅助泵 (L/min) ≧250
安装角度 任意
重量 VG・ISO-B/CF(kg)  29/30
控制器型号 TC1103
  • ※1:辅助泵的容量是500L/min情况下的最大容许流量
  • [ 使用环境温度 ]
  • 极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度在空冷情况下是10~32℃,水冷情况下是10~40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10~35℃。
  • [ 对应气体种类 ]
  • 由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。
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外观尺寸表

外观尺寸表


  • VG200 φ300 16 272
    CF200 φ253 25 319
    ISO-B200 φ285 16 300
  • ●吸气口法兰对称分布于排气口。
  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

性能曲线

性能曲线
性能曲线
  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

控制器

控制器


控制器


控制器型号 TC1103
输入电压(ACV) 200-230 (±10%)
输入频率(Hz) 50/60
相数 单相
所需最大电力(VA) 810
输出频率(Hz) 560
重量(kg) 8.2
标准附属品 ・输入接头 1个
・远控接插头 1个
・通信接插头1个
・杂波过滤器1个
・使用说明书 (机身,通信)各1套