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TG1810/TG1813

　■腐食性ガスの排気に強いケミカル形

　■不意の大気突入に強い構造

　■外部からの衝撃に強い

　■シリアル通信可能

　■安全規格

　　NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半導体製造

・電子銃排気、イオン源排気

・FPD製造

・表面処理、表面改質

・各種電子部品製造

・管球製造、光学部品製造

・加速器、放射線施設、核融合研究

・熱処理

・研究開発

※クリーンプロセス向けはTG-Fシリーズ、TG-Mシリーズ、TGkineシリーズをお選びください。

• 仕様
• 外観寸法図
• 性能曲線
• コントローラ

仕様

 

吸気口フランジ		VG200 ISO-B250
排気速度	N2 (L/s)	1800
	N2(保護金網付) (L/s)	1700
	H2 (L/s)	1100
最大圧縮比	N2	1×108
	H2	3×103
到達圧力	VG・ISO-B (Pa)	<1×10-6
	VG・ISO-B (Torr)	<7.5×10-9
最大ガス流量※1	N2 (sccm)	2444
起動時間	(min)	11-16
停止時間	(min)	23-28
許容補助圧力	(Pa / Torr)	270/2
推奨補助ポンプ	(L/min)	500
潤滑油量	(mL)	260
取付姿勢		垂直（±10°）
質量	(kg)	80
コントローラ型式		TC1813

• ※1：補助ポンプ容量を1000L/minとした場合の許容最大流量
• [ 使用周囲温度 ]
• 到達圧力保証周囲温度は10～23℃です。又、許容周囲温度は10～40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10～35℃です。
• [ 対応ガス種 ]
• 吸引ガス種によっては、軸受潤滑油や内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

Ⓐ	Ⓑ	Ⓒ	Ⓓ	Ⓔ
VG250	φ350	21	425	363
ISO-B250	φ335	16	425	363

• ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
• ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

• ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ型式	TC1813
入力電圧(ACV)	200-230(±10%)
入力周波数(Hz)	50/60
入力相数	単相
最大所要電力(VA)	2200
出力周波数(Hz)	340
質量(kg)	8.2
標準付属品	・入力コネクタ：1個 ・リモートコネクタ：1個 ・シリアル通信コネクタ：1個 ・フェライトコア：1個 ・取扱説明書(本体、シリアル通信)：各1部