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TG1810/TG1813
■腐食性ガスの排気に強いケミカル形
■不意の大気突入に強い構造
■外部からの衝撃に強い
■シリアル通信可能
■安全規格
NRTL/SEMI-S2/CE
用途
・半導体製造
・電子銃排気、イオン源排気
・FPD製造
・表面処理、表面改質
・各種電子部品製造
・管球製造、光学部品製造
・加速器、放射線施設、核融合研究
・熱処理
・研究開発
※クリーンプロセス向けはTG-Fシリーズ、TG-Mシリーズ、TGkineシリーズをお選びください。
仕様
吸気口フランジ | VG250 ISO-B250 |
|
排気速度 | N2 (L/s) | 1800 |
N2(保護金網付) (L/s) | 1700 | |
H2 (L/s) | 1100 | |
最大圧縮比 | N2 | 1×108 |
H2 | 3×103 | |
到達圧力 | VG・ISO-B (Pa) | <1×10-6 |
VG・ISO-B (Torr) | <7.5×10-9 | |
最大ガス流量※1 | N2 (sccm) | 2444 |
起動時間 | (min) | 11-16 |
停止時間 | (min) | 23-28 |
許容補助圧力 | (Pa / Torr) | 270/2 |
推奨補助ポンプ | (L/min) | 500 |
潤滑油量 | (mL) | 260 |
取付姿勢 | 垂直(±10°) | |
質量 | (kg) | 80 |
コントローラ型式 | TC1813 |
外観寸法図
Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ | Ⓔ |
VG250 | φ350 | 21 | 425 | 363 |
ISO-B250 | φ335 | 16 | 425 | 363 |
性能曲線
コントローラ
コントローラ型式 | TC1813 |
入力電圧(ACV) | 200-230(±10%) |
入力周波数(Hz) | 50/60 |
入力相数 | 単相 |
最大所要電力(VA) | 2200 |
出力周波数(Hz) | 340 |
質量(kg) | 8.2 |
標準付属品 | ・入力コネクタ:1個 ・リモートコネクタ:1個 ・シリアル通信コネクタ:1個 ・フェライトコア:1個 ・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部 |