会期
2026年12月9日（水）～12月11日（金）
会場
会場：東京ビッグサイト、東展示棟
ブース番号：E2207
入場料：無料 ※完全事前登録制 来場登録はこちら
12月9日～12月11日の3日間、東京ビッグサイトで開催される「SEMICON JAPAN 2026」に出展いたします。
当展示会では、半導体製造工程（スパッタリング・エッチング・露光・イオン注入・検査工程等）に必要とされるターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを紹介いたします。今回の展示では、新製品である6000L/sクラスの磁気軸受形ターボ分子ポンプおよび1000L/sクラスの磁気軸受形ヘリカル溝真空ポンプをはじめ、真空環境づくりに貢献する当社の豊富なラインアップをご紹介いたします。さらに、当社主力製品であるコントローラ・電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプ「TGkine2200M-B」、磁気軸受形ターボ分子ポンプ「TGkine3400M-R」、省エネ型ドライ真空ポンプ「ER100D」なども展示し、お客様の多様なニーズにお応えする最新ソリューションをご提案いたします。
皆様のご来場を心よりお待ちしております。
主な紹介製品
お問合せ先
「SEMICON JAPAN 2026」公式サイト： https://www.semiconjapan.org/jp
