Close

カタログのダウンロードは「会員登録」が必要です。

※カタログダウンロードをご希望の方は事前にユーザー登録が必要です。
ログイン、または新規会員登録よりユーザー登録を行ってください。
ご登録いただいたお客様は、電子カタログ（PDF）、
2D-CADデータ（DXF）、3D-CADデータ（STEP、IGES） の
ダウンロードができます。

イベント情報

イベント情報SEMICON KOREA 2023 出展報告

※展示会は終了致しました。ご来場して頂いた皆様、誠にありがとうございました。

 

韓国・ソウル市にて開催される「SEMICON KOREA 2023」に出展いたします。

 

当展示会では、半導体製造工程（成膜・エッチング・露光・イオン注入・パッケージング・検査工程等）に不可欠とされる大排気速度・高流量仕様のターボ分子ポンプ、極低振動仕様のターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを中心に当社の真空機器を紹介いたします。

 

皆様のご来場を心よりお待ちしております。

 

「SEMICON KOREA 2022」紹介動画

主な紹介製品

  • 磁気軸受形ターボ分子ポンプ（コントローラ一体型）：TGkine®-Bシリーズ
  • 反応生成物対策型磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine®-MIシリーズ
  • 極低振動磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TG-MLシリーズ
  • ドライ真空ポンプ：：DSPシリーズ、ERシリーズ

等・・・

 

会期・会場

  • 会期：2023年2月1日㈬～2月3日㈮
  • 会場：COEX Korea Exhibition Center（韓国ソウル）
  • ブース: BS19

 

問合せ先