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イベント情報

イベント情報SEMICON JAPAN 2022 出展報告

※展示会は終了致しました。ご来場して頂いた皆様、誠にありがとうございました。

 

東京ビッグサイトで開催される「SEMICON JAPAN 2022」に出展いたします。

 

当展示会では、半導体製造工程（スパッタリング・エッチング・露光・イオン注入・検査工程等）に必要とされるターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを紹介いたします。その中でも当社主力製品である反応生成物対策型磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine4200MI-B、極低振動磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TG420MLと省エネ型ドライ真空ポンプER100D等、真空環境づくりに役立つ当社の豊富なラインアップをご紹介いたします。

 

また本年は、学生の皆様に参加頂ける半導体業界研究イベント「未来COLLEGE＠SEMICON2022」にもあわせて出展いたします。当社社員との対談等を通じて当社魅力をご紹介できる場となればと考えております。是非ご参加をお願いいたします。詳しい開催概要につきましてはこちらをご覧ください。

皆様のご来場を心よりお待ちしております。

 

「SEMICON JAPAN」紹介動画

主な紹介製品

  • 反応生成物対策型磁気軸受型ターボ分子ポンプ（一体型）：TGkine4200MI-B
  • 磁気軸受形ターボ分子ポンプ・コントローラ：TGkine3404M-R・TC0331M
  • 極低振動磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TG420ML
  • 省エネ型ドライ真空ポンプ：ER100D
  • コンパクトドライ真空ポンプ：DSP251
  • 高真空アングルバルブ（手動式、空圧式）

 

会期・会場

  • 会期：2022年12月14日（水）～12月16日（金）
  • 会場：東京ビッグサイト、東展示棟
  • ブース番号
    「SEMICON JAPAN 2022」：4102
    「未来COLLEGE＠SEMICON2022」：1004

 

問合せ先