イベント情報

イベント情報The 22nd International Vacuum Congress(IVC-22)出展報告

展示会は終了致しました。ブースに訪問して頂いた皆様、誠にありがとうございました。

 

今回札幌コンベンションセンターにて開催されるThe 22nd International Vacuum Congress(IVC-22)において当社はゴールドスポンサー企業として参加いたします。また企業展示及びパラレルセッション・ポスターセッションにも参加いたします。

 

企業展示では、当社の主力製品であるターボ分子ポンプの中から科学技術分野に向いたターボ分子ポンプを中心に紹介いたします。大気圧からの排気やターボ分子ポンプの補助ポンプとしても使用できる直結型油回転真空ポンプ:VRDシリーズ、コンパクトドライ真空ポンプ:DSPシリーズ等低真空から高真空までのラインアップを紹介します。

 

またパラレルセッションでは、日本原子力研究開発機構の神谷潤一郎研究主幹からのご依頼を受けて開発した、チタン合金ロータ搭載のターボ分子ポンプについて講演いたします。

 

ポスターセッションでは、膜厚と膜質の予想、逆に目標とする膜厚と膜質にするための成膜条件を計算するスパッタシュミレーションの手法とソフトウェアについて発表いたします。

 

皆様のご参加を心よりお待ちしております。

 

主な展示品(企業展示)

  • 極低振動型磁気軸受型ターボ分子ポンプ:TG420ML
  • ターボ分子ポンプ排気システム:STC70FR013
  • コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ:DSP251
  • 直結型油回転真空ポンプ(二段型):VRD-4
  • 高真空アングルバルブ(手動式、空圧式)

 

パラレルセッション

  • 題目:高強度材料製ターボ分子ポンプの試作 “Prototype Turbo-Molecular Pump of high-strength material”
  • 発表日時:2022年9月14日(水)15:15~
  • 発表者:Nang Tin Tin Htwe

 

ポスターセッション

  • 題目:膜厚分布及び膜特性分布のスパッタシミュレーション "Sputtering Simulation of the Film Thickness Distribution and Film Property Distribution")
  • 発表日時:2022年9月13日(火)17:00~18:30
  • 発表者:黒島 考平

 

会期・会場

  • 会期:2022年9月12日(月)~2022年9月14日(水)
  • 会場:札幌コンベンションセンター
  • ブース:62,63

 

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