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今回札幌コンベンションセンターにて開催されるThe 22nd International Vacuum Congress(IVC-22)において当社はゴールドスポンサー企業として参加いたします。また企業展示及びパラレルセッション・ポスターセッションにも参加いたします。
企業展示では、当社の主力製品であるターボ分子ポンプの中から科学技術分野に向いたターボ分子ポンプを中心に紹介いたします。大気圧からの排気やターボ分子ポンプの補助ポンプとしても使用できる直結型油回転真空ポンプ:VRDシリーズ、コンパクトドライ真空ポンプ:DSPシリーズ等低真空から高真空までのラインアップを紹介します。
またパラレルセッションでは、日本原子力研究開発機構の神谷潤一郎研究主幹からのご依頼を受けて開発した、チタン合金ロータ搭載のターボ分子ポンプについて講演いたします。
ポスターセッションでは、膜厚と膜質の予想、逆に目標とする膜厚と膜質にするための成膜条件を計算するスパッタシュミレーションの手法とソフトウェアについて発表いたします。
皆様のご参加を心よりお待ちしております。