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イベント情報

イベント情報SEMICON JAPAN 2021 出展報告

※展示会は終了致しました。ご来場して頂いた皆様、誠にありがとうございました。

 

東京ビッグサイトで開催される「SEMICON JAPAN2021」に出展いたします。

 

当展示会では、半導体製造工程（成膜・エッチング・露光・イオン注入・パッケージング・検査工程等）に不可欠とされるターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを紹介いたします。その中でも当社主力製品である反応生成物対策型磁気軸受型ターボ分子ポンプ：TGkine4200MI-B、極低振動磁気軸受形複合分子ポンプ：TG420MLとドライ真空ポンプDSP50など、真空環境作りに役立つ豊富なラインアップを紹介いたします。

 

皆様のご来場を心よりお待ちしております。

 

「SEMICON JAPAN 2021」 紹介動画

SEMICON JAPAN 注目エリアを体感！編 from SEMI Japan on Vimeo.

 

主な紹介製品

  • 反応生成物対策型磁気軸受型ターボ分子ポンプ（一体型）：TGkine4200MI-B
  • 磁気軸受形ターボ分子ポンプ・コントローラ：TGkine3404M-R・TC0331M
  • 極低振動磁気軸受形複合分子ポンプ：TG420ML
  • コンパクトドライ真空ポンプ：DSP50
  • 高真空アングルバルブ（手動式、空圧式）

 

会期・会場

  • 会期：2021年12月15日（水）～12月17日（金）
  • 会場：東京ビッグサイト、東展示棟
  • ブース：4704

 

問合せ先