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イベント情報

イベント情報SEMICON China / FPD China 2019 出展報告

 

※展示会は終了致しました。ご来場して頂いた皆様、誠にありがとうございました。

 

中国・上海にて開催される「SEMICON China / FPD China 2019」に出展いたします。

 

今回の出展テーマは『ポンプのIoT対応』です。


IoT社会の実現に向け、データセンター・生体認証・ロボット・AI・スマートフォン・再生エネルギー等のハイテク分野において半導体・FPD・電子部品・LED・太陽光パネルの需要が増えてきており、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるために必要な真空ポンプにも、IoT対応が必要ではないかと考えています。

 

これらの製造工程（成膜、エッチング、露光、イオン注入、パッケージング・検査工程等）で必要な、ターボ分子ポンプTGkine4200MI（反応生成物対策仕様）・TG420ML（極低振動仕様）・ドライポンプDSP250を実機で展示いたします。

 

皆様のご来場を心よりお待ちしております。

 

 

 

 

主な展示品

  • コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI
  • 磁気軸受形 複合分子ポンプ（極低振動仕様）：TG420ML
  • コンパクトドライ真空ポンプ：DSP250

 

会期・会場

  • 会 期 : 2019年3月20日 ～ 3月22日
  • 会 場 : 中国・上海新国際博覧中心（中国 上海市 浦東新区 世紀公園 ）
  • ブースNo.: N1ホール、1138

 

問合せ先

  • 「SEMICON China / FPD China 2019」公式サイト：

http://www.semiconchina.org/zh（中国語サイト）
http://www.semiconchina.org/（英語サイト）