姿勢自在型複合分子ポンプ TG-Fシリーズを販売開始
八王子工場がISO9001の認証を取得
新元精密工業株式会社（韓国、現・新元技術株式会社）とTMPの修理業務に関する代理店契約を締結
ドライ真空ポンプDSP80を開発
名張工場がISO9002の認証を取得
（現在はISO9001に移行）
ソウル支店を、韓国ソウル市に開設
九徳松益股份有限公司（台湾）とTMPの販売及び、修理業務に関する代理店契約を締結
極高真空対応ターボ分子ポンプの開発により、第20回真空技術賞を受賞
XHV対応磁気軸受形複合分子ポンプTG1121Mで、10-10Paを達成
大型放射光施設
“SPring-8”に主要設備排気用TMPを納入
高真空ネジ溝ポンプTS440を完成
真空業界における功績により、藍綬褒章受章
カリフォルニア支店を、米国カリフォルニア州サンホゼ市に開設
最大級のターボ分子ポンプ TH25000を完成
真空業界における功績により、科学技術庁長官賞を受賞
メガネフレーム用スパッタリング装置完成
名張工場開設
複合分子ポンプの開発により、日本機械学会賞を受賞
複合分子ポンプの開発により、第10回真空技術賞を受賞
磁気軸受形複合分子ポンプTG600Mを販売開始
引き続きシリーズ化に着手
世界初の複合分子ポンプTG550を販売開始*1 *2
引き続きシリーズ化に着手
対向ターゲット式スパッタリング装置の生産開始
日本原子力研究所核融合炉JT60用真空設備の製作に着手
京都大学へリオトロンＥプラズマ実験装置用大型クライオパネルを完成
スペースシミュレーションチャンバーを電子技術総合研究所(現･産業技術総合研究所)に納入
口径2mの脱ガス用蒸気エジェクタを完成
理化学研究所の重イオン線形加速器にTH5000を4台納入
* のちにこの加速器を使用して、森田准主任研究員らが2001年より本格的な超重元素合成実験を開始2004,2005,2012年にニホニウムの観測に成功
ターボ分子ポンプの国産化により、第1回真空技術賞を受賞
