会社情報

沿革

会社の歴史

製品の歴史

2026

新WEBサイト、リニューアルオープン

2025

スクロール型ドライ真空ポンプ GWSP-150を販売開始

2024

中国Value社より、2024年度最高海外技術パートナー賞を受賞

直結型油回転真空ポンプ(2段ベーン式) UDシリーズを販売開始

直結型油回転真空ポンプ(1段ベーン式) VM70Fを販売開始

2022

「NEWSWEEK International Magazine」に、関連記事掲載

2021

直結型油回転真空ポンプVRD耐圧防爆シリーズ販売開始

高真空アングルバルブ MAH/PAHシリーズを販売開始

直結型油回転真空ポンプ(1段ベーン式)VSVシリーズ 販売開始

2020

「South China Morning Post」に、関連記事掲載

創立70周年を迎える

最新型対向ターゲット式スパッタリング装置が完成

ロードロック式スパッタリング装置を(地独)大阪産業技術研究所に納入

プラズマ滅菌対応直結型油回転真空ポンプVRD-Mシリーズ 販売開始

2019

TGkine®シリーズのコントローラ分離型磁気軸受形 ターボ分子ポンプTGkine®-Rシリーズを販売開始

コンパクトドライ真空ポンプDSPシリーズがモデル一新

2018

名張工場増設

「South China Morning Post」に、関連記事掲載

直結型油回転真空ポンプ(2段ベーン式)VRDシリーズ 販売開始

高エネルギー加速器研究機構(KEK)との共同研究で、Pd・Pd/Tiコーティングにより大幅に排気性能向上に成功

2017

SEMI中国 装置・材料訪日団22名名張工場訪問

Ebara Precision Machinery Europe GmbH (EPME) とターボ分子ポンプの修理に関する代理店契約を締結

最新型スペースチャンバー完成

ITER向けコイル用含浸装置完成

2016

人工流れ星用真空チャンバー完成

コンパクトドライ真空ポンプ DSP50 販売開始

コントローラ・電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine4200M-Bを販売開始

2015

第13回中国国際真空展覧会 最優秀展示会社(金賞)受賞

HI-TECH VACUUM SERVICES(THAILAND) CO., LTD.と中低真空ポンプの修理に関する代理店契約を締結

修理サービス部門の移転をもって八王子事業所を名張工場へ統合完了

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