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- 涡轮分子泵
- TS440 / 443
TS440 / 443
- 全段螺旋槽构造
- 在中/低真空领域中能大量排出气体
- 可承受300,000回以上的大气冲入
- 符合安全规格：NRTL/SEMI-S2/CE
用途
- 半导体制造
- 电子枪排气，离子源排气
- 表面处理，表面改质
- 各种电子部件的制造
- 管球制造，光学部件制造
- 加速器，放射线设施，核聚变研究
- 热处理
- 研究开发
规格
| 吸气口法兰 | VG150 CF160 ISO-B160 |
|
| 抽气速度 | N2 (L/s) | 440 |
| N2 (附带金属保护网) (L/s) | 410 | |
| H2 (L/s) | 320 | |
| 最大压缩比 | N2 | 2×106 |
| H2 | 1×103 | |
| 最大气体流量※1、※2 | N2 (sccm) | 10860 |
| 启动时间 | (min) | 10～14 |
| 停止时间 | (min) | 23～28 |
| 极限压力※3 | (Pa） | < 1×10-5 |
| (Torr） | < 7.5×10-8 | |
| 允许辅助压力 | (Pa） | 2000 |
| (Torr） | 15 | |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧500 |
| 安装角度 | 正立（±10°） | |
| 重量 | (kg) | 60 |
※1：1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
※2：辅助泵的容量是1000L/min情况下的最大容许流量
※3：48小时烘烤后得到的数值。
外观尺寸表
| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ | Ⓔ |
| VG150 | φ235 | 16 | 387 | 430 |
| CF160 | φ203 | 22 | 387 | 430 |
| ISO-B160 | φ225 | 16 | 387 | 430 |
・吸气口法兰对称分布于排气口。
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性能曲线
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控制器
| 控制器型 | TC443S | |
| 输入电压 | AC180 - 253V | |
| 相数 | 单相 | |
| 输入频率 | (Hz) | 50 / 60 |
| 所需最大电力 | (kVA) | 2.2 |
| 重量 | (kg) | 8.2 |
| 通信接口规格 | Parallel I/O・RS232C | |
| 标准附属品 | ・输入接插头 1个 ・远控接插头 1个 ・通信接插头 1个 ・使用说明书(本体，通信)1套 |
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