产品信息
- 大阪真空机器制作所 首页
- 产品信息
- 涡轮分子泵
- TS50
TS50
- 全段螺旋槽构造
- 在中/低真空领域中能大量排出气体
- 可承受300,000回以上的大气冲入
- 符合安全规格：NRTL/SEMI-S2
用途
- 半导体制造
- 电子枪排气，离子源排气
- 表面处理，表面改质
- 各种电子部件的制造
- 管球制造，光学部件制造
- 加速器，放射线设施，核聚变研究
- 热处理
- 研究开发
规格
| 吸气口法兰 | VG100 CF100 ISO-R100 |
|
| 抽气速度 | N2 (L/s) | 25 |
| N2 (附带金属保护网) (L/s) | 23 | |
| H2 (L/s) | 13 | |
| 最大压缩比 | N2 | 2×106 |
| H2 | 50 | |
| 最大气体流量※1、※2 | N2 (sccm) | 600 |
| 启动时间 | (min) | 2.5～3.5 |
| 停止时间 | (min) | 2.5～5 |
| 极限压力※3 | (Pa） | < 1×10-4 |
| (Torr） | < 7.5×10-7 | |
| 允许辅助压力 | (Pa） | 1200 |
| (Torr） | 9 | |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧80 |
| 安装角度 | 正立（±10°） | |
| 重量 | (kg) | 11 |
※1：1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
※2：辅助泵的容量是160L/min情况下的最大容许流量
※3：48小时烘烤后得到的数值。
外观尺寸表
| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ | Ⓔ | Ⓕ | Ⓖ | Ⓗ |
| VG100 | φ185 | 15 | 264 | 185 | 238 | 226 | 215 |
| CF100 | φ152 | 21 | 264 | 185 | 236 | 226 | 215 |
| ISO- R100 |
φ130 | 12 | 262 | 183 | 234 | 224 | 213 |
・吸气口法兰对称分布于排气口。
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
控制器
| 控制器型 | TC203 | |
| 输入电压 | AC100-110 V AC200-230 V |
|
| 相数 | 单相 | |
| 输入频率 | (Hz) | 50 / 60 |
| 所需最大电力 | (kVA) | 0.61 |
| 重量 | (kg) | 2.7 |
| 通信接口规格 | Parallel I/O・RS232C | |
| 标准附属品 | ・输入接插头 1个 ・远控接插头 1个 ・通信接插头 1个 ・使用说明书(本体，通信)1套 |
|