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大阪真空将于2024年1月31日~2月2日参加韩国・首尔市举办的「SEMICON KOREA 2024」半导体展会。
本次展会中,我们将介绍在半导体制造工艺中(镀膜,刻蚀,光刻,离子注入,封测等)不可或缺的大排气速度,高流量的磁悬浮涡轮分子泵,极低振动型磁悬浮复合分子泵,以及干式真空泵等。
我们将诚挚等候各位来宾的光临。
磁悬浮涡轮分子泵(控制器一体型):TGkine®-B系列
磁悬浮涡轮分子泵:TGkine®-R系列
反应生成物对应型磁悬浮涡轮分子泵:TGkine®-MI系列
极低振动型磁悬浮涡轮分子泵:TG-ML系列
节能型干式真空泵:ER100D
风冷型干式真空泵:FR060D