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ER100D/ER100DC
■同型号干式真空泵中的顶级节能,小型・轻量。
极限压力时的耗电量:400W 占地面积:0.11m2 重量:60Kg
■根据客户的需要,提供相应的规格。 ER100D:适用于轻负载洁净工艺的排气 ER100DC:使用了耐腐蚀能力强的材料,可排腐蚀性气体
用途
・洁净排气 ・溅射装置的排气・分子泵等高真空泵的辅助泵 ・装载室,搬送式排气・小型实验设备的排气 ・吸附・ 搬送・分析・测量仪器的排气 ・型炉排气・电子枪,离子源的排气
规格
[对应气体种类]由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。
关于可抽取的气体种类请咨询我司销售人员。
外观尺寸表
性能曲线
产品信息