「Pd、Pd/Tiコーティングによる大幅な排気性能の向上」のご紹介

～高エネルギー加速器研究機構（KEK）様との共同研究～

当社は高エネルギー加速器研究機構（KEK）物質構造科学研究所　間瀬一彦准教授と共同で、真空容器内面にPd（パラジウム）及びPd/Ti（パラジウム／チタン）コーティングを施し、排気特性を測定しました。

真空容器と真空装置

その結果Pdコーティングにおいては排気時間が約1/7に短縮され、またPd/Tiコーティングにおいては排気時間が約1/5に短縮され、到達圧力が１桁低下しました。この排気時間の短縮により、サイクルタイムが短縮され生産性向上されることが期待されます。また、大気リークを繰り返しても排気特性は変わらないことを確認しております。

加速器・スペースチャンバー・電子顕微鏡・光電子分光装置・一般真空装置等での使用が期待できます。
詳細は弊社の営業担当者にお問い合わせください。

* 国際特許出願中

高エネルギー加速器研究機構（KEK）
「非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置」
PCT/JP2017/042682