| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ | Ⓔ | Ⓕ | Ⓖ |
| VG100 | φ185 | 15 | 264 | 185 | 238 | 226 |
| CF100 | φ152 | 21 | 264 | 185 | 236 | 226 |
| ISO-R100 | φ130 | 12 | 262 | 183 | 234 | 224 |
玉軸受形 ターボ分子ポンプ
TS50
ヘリカル溝真空ポンプ
製品特長
- 全段ヘリカル溝（ネジ溝）構造
- 中・低真空領域において、大量のガス排気可能
- 300,000回以上の大気突入に耐えられる
- 安全規格：NRTL/SEMI-S2
用途
- 半導体製造
- 電子銃排気、イオン源排気
- 表面処理、表面改質
- 各種電子部品製造
- 管球製造、光学部品製造
- 加速器、放射線施設、核融合研究
- 熱処理
- 研究開発
仕様一覧
仕様
| 型式 | TS50 | |
|---|---|---|
| 吸気口 | VG100 / CF100 / ISO-R100 | |
| 排気口 | KF25 | |
| 排気速度 | N₂ (L/s) | 25 |
| N₂ (保護金網付) (L/s) | 23 | |
| H₂ (L/s) | 13 | |
| 最大圧縮比 | N₂ | 2×10⁶ |
| H₂ | 50 | |
| 試験到達圧力 | Pa | < 1×10⁻⁴ *³ |
| Torr | < 7.5×10⁻⁷ *³ | |
| 最大ガス流量 *1 *2 | N₂ (sccm) | 600 |
| 起動時間 | min | 2.5～3.5 |
| 停止時間 | min | 2.5～5 |
| 許容補助圧力 | Pa | 1200 |
| Torr | 9 | |
| 推奨補助ポンプ | L/min | ≧80 |
| 取付姿勢 | 正立（±10°） | |
| 質量 | kg | 11 |
*1：1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1気圧)
*2：排気口部の補助排気速度を160L/minとした場合の値です。
*3：48時間ベーク後に得られる値です。
外観寸法図
※吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
性能曲線
【ガス流量曲線】
【排気速度曲線】
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コントローラ
| コントローラ型式 | TC203A |
|---|---|
| 入力電圧 | AC100-110V / AC200-230V |
| 入力相数 | 単相 |
| 入力周波数 (Hz) | 50/60 |
| 出力周波数 (Hz) | 800 |
| 最大所要電力 (VA) | 610 |
| 質量 (kg) | 2.7 |
| 通信インターフェース | Parallel I/O・RS232C |
| 標準付属品 | ・入力コネクタ：1個 ・リモートコネクタ：1個 ・シリアル通信コネクタ：1個 ・取扱説明書(本体、シリアル通信)：各1部 |
