小
中
大
TG900M
吸気口フランジ |
|
排気速度 (L/s)
N2
|
(保護金網付) N2 |
H2 |
最大圧縮比
N2 |
H2 |
到達圧力
(Pa)
VG・ISO-B/CF |
(Torr)
VG・ISO-B/CF |
最大ガス流量※1 (sccm)
N2 |
起動時間 (min) |
停止時間 (min) |
許容補助圧力 (Pa/Torr) |
推奨補助ポンプ (L/min) |
取り付け姿勢 |
質量 (kg)
VG・ISO-B/CF |
コントローラ型式 |
|
特殊仕様
(詳しくは当社営業担当者までお問合わせ下さい。) |
VG150 CF160 ISO-B160 |
900 |
860 |
1050 |
1×108 |
1.5×104 |
<1×10-6/<1×10-7 |
<7.5×10-9/<7.5×10-10 |
3000 |
4-5 |
4-5 |
500/3.8 |
≧250 |
自在 |
34/42 |
TC011M |
- ※1：補助ポンプ容量を1000L/minとした場合の許容最大流量
- [ 使用周囲温度 ]
- 到達圧力保証周囲温度は10〜23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10〜32℃、水冷の場合は10〜40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10〜35℃です。
- [ 対応ガス種 ]
- 吸引ガス種によっては、内部部品を劣化させる場合があります。
対応ガス種は当社営業にお問い合わせ下さい。
| TMP型式について |
| 姿勢自在形 複合分子ポンプ |
|
| TG50F | TG70F |
| TG220F | TG240F |
| TG350F | TG450F |
| TG800F | TG1100F |
| TG1400F | TG2400F |
| TG2410F | |
| 磁気軸受形 複合分子ポンプ |
|
| TG390M | TG420M |
| TG900M | TG1300M |
| TG2400M | TG3260M |
| TG3460M | |
| 磁気軸受形 コントローラ・電源一体型複合分子ポンプ |
|
| kineTiG2200M | |
| 油潤滑形 複合分子ポンプ |
|
| TG203 | TG553 |
| TG1003 | TG1303 |
| TG1810/1813 | |
| TG2813 | |
| TG3213 | |
| TG3413 | |
| TG5000/5003 | |
| TG5500/5503 | |
| 排気ユニット | |
| STシリーズ | |
| ST-Compactシリーズ | |
 |
 |
 |
 |
| VG150 | φ235 | 16 | 376 |
| CF160 | φ203 | 22 | 382 |
| ISO-B160 | φ225 | 16 | 390 |
|
|
|
|
| VG150 | φ235 | 16 | 376 |
| CF160 | φ203 | 22 | 382 |
| ISO-B160 | φ225 | 16 | 390 |
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- ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
- ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
TC011M
| コントローラ型式 | TC011M |
| 入力電圧(ACV) | 200-240(±10%) |
| 入力周波数(Hz) | 50/60 |
| 入力相数 | 単相 |
| 最大所要電力(VA) | 1300 |
| 出力周波数(Hz) | 560 |
| 質量(kg) | 9 |
| 標準付属品 |
|
| 適用ポンプ機種 | TG900M |
ターボ分子ポンプ（複合分子ポンプ）排気原理
ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。
翼の傾きと回転方向は下記図に示す関係です。
高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。
しかしながら、翼の傾きと回転により、後段方向へ、同時に静翼を通過しやすい方向へと向けられます。
また後段側から静翼を通過し逆行してきた気体分子も、動翼に触れることで再度後段方向へ向けられます。
翼の傾きは、前段側では気体分子が通過しやすい（排気方向の流れと逆流の差が大きい）角度、後段側では気体分子が逆行しにくい（排気方向の流れと逆流の比が大きい）角度を持っています。
分子流域においては、この動翼と静翼がターボ分子ポンプの基本的な機能を果します。
当社は、動翼と静翼の組み合わせに「ねじ溝部」を付加しました。円筒状の回転部（ロータ）の壁面に引きずられた気体分子は、やがて固定部（ステータ）のねじ溝に沿うように背圧側へ送られます。
このねじ溝作用により、分子流域のみならず、中間流域でも排気可能で、特に中間流域では大流量排気が可能なターボ分子ポンプ（複合分子ポンプ）が完成しました。
それにより、ターボ分子ポンプの可動域が広がり、多くの用途に幅広く使われるようになりました。また高背圧でも運転できるため、補助ポンプの選択範囲も広がりました。
ターボ分子ポンプ断面図（グリス潤滑玉軸受形）
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株式会社大阪真空機器製作所
Copyright (C) 2001-2010 Osaka Vacuum, Ltd. All rights reserved.
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