磁気軸受形 ターボ分子ポンプ
磁気軸受形ターボ分子ポンプは、磁力でロータを浮上させて非接触支持する構造により、潤滑油を一切使用しない完全オイルフリーを実現しています。
その結果、低振動・低騒音での超高速回転が可能となり、クリーンな真空環境を提供することができます。
さらに当社の磁気軸受形ターボ分子ポンプは、電磁石による5軸制御方式を採用しており、設置姿勢に制約されず、常に安定した運転を実現します。
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
シリーズ一覧
TGkine® シリーズ
TGkine®-B SERIES
コントローラ・電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプ
標準＆腐食性ガス対応：1700～4200L/sの排気容量の製品をラインアップ
コントローラと電源ユニットの一体化を実現しました。出力ケーブルやコントローララックが不要になり、装置の省スペース化が可能となります。TG-Mシリーズの特長を踏襲し、ロータ設計の最適化により排気性能をさらに向上しました。
Point
コントローラ/電源一体型・省スペース/省電力設計・大排気速度設計/高流量設計
多様な通信仕様（EtherCATも対応可能）・自社開発により安定した軸受を実現・低速回転モード設定可能
産業分野
- 半導体/電子部品
- 光学産業
- ディスプレイ
- 理化学機器
- 金属/鉄鋼
- エネルギー
- 素材
- 自動車/航空
- 医療/医薬品
- 宇宙/研究開発
- 機械工業
断面図
TGkine®-R SERIES
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
標準＆腐食性ガス対応：1700～4200L/sの排気容量の製品をラインアップ
TGkine®-Rシリーズは、電源・コントローラ一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine®-Bシリーズと同性能のコントローラ分離型の磁気軸受形ターボ分子ポンプです。当ポンプは稼働データ、タッチダウン回数、機種情報等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。
Point
コンパクト設計/省電力設計・高流量設計・多様な通信仕様（EtherCATも対応可能）
自社開発により安定した軸受を実現・低速回転モード設定可能・稼働データなど機種情報をポンプ本体に保持可能
産業分野
- 半導体/電子部品
- 光学産業
- ディスプレイ
- 理化学機器
- 金属/鉄鋼
- エネルギー
- 素材
- 自動車/航空
- 医療/医薬品
- 宇宙/研究開発
- 機械工業
断面図
TG-M シリーズ
TG-M SERIES
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
標準＆腐食性ガス対応：340～2400L/sの排気容量の製品をラインアップ
磁気軸受採用で完全オイルフリーの排気を得ることができ、 またメンテナンスサイクルが長いのも特長です。
Point
ポンプ接続時及び電源投入時にセンサの自動調整
回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能・用途に合わせて、各種特殊仕様を選択可能
産業分野
- 半導体/電子部品
- 光学産業
- ディスプレイ
- 理化学機器
- 金属/鉄鋼
- エネルギー
- 素材
- 自動車/航空
- 医療/医薬品
- 宇宙/研究開発
- 機械工業
断面図
TG-M7 SERIES
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
標準＆腐食性ガス対応：340～1300L/sの排気容量の製品をラインアップ
Point
省電力設計・稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能
多様な通信仕様（EtherCAT対応可能）
産業分野
- 半導体/電子部品
- 光学産業
- ディスプレイ
- 理化学機器
- 金属/鉄鋼
- エネルギー
- 素材
- 自動車/航空
- 医療/医薬品
- 宇宙/研究開発
- 機械工業
特殊仕様
反応生成物対応
反応生成物が堆積しやすい装置向けとして、当社独自の断熱構造/自己昇温機構を採用し、反応生成物堆積率を大幅に減少させたシリーズ。
TGkine®-MI SERIES / TG-MI SERIES
Point
外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温
外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！
主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減
最適な温度を維持し、排気配管内の生成物発生を防止
排気配管にも断熱材を採用（TG-MIシリーズのみ）
メタルエッチングプロセスに対する導入評価
未対策
ポンプ内部と排気口付近に反応生成物が大量に堆積し、ポンプトラブルの原因となる。
SGPステータB
排気口
TG-MIによる生成物対策
生成物の堆積を大幅に減らすことが出来、生産ラインの安定運用が可能です。
SGPステータB
排気口
産業分野
- 半導体/電子部品
- 光学産業
- エネルギー
- 素材
耐放射線仕様
放射線環境下において使用するために開発された耐放射線仕様のターボ分子ポンプ。放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転可能。
TG-MR SERIES
極低振動仕様
分析用途の基礎技術、超微小空間の測定、リソグラフィに代表される次世代半導体製造プロセスの微細加工などに不可欠な要素である「極低振動」を達成したシリーズ。
TG-ML SERIES
超高真空仕様
水素圧縮比60,000を達成し、内部放出ガスを低減した「超高真空」シリーズ。TG-MUシリーズ単独で、極高真空領域（10-9Pa台～）に近い到達圧力が得られる。
TG-MU SERIES
メタルシール仕様
- シール部分を特殊対応（メタルガスケット、電力導入部分をガラス製）
- He透過を徹底的に抑えた仕様
- 放射線環境下にて使用可能（1MGy程度）
- KEK様にて10年以上の運転実績
TG-MM SERIES
耐磁場仕様
- 強い磁場内にあっても回転に対するブレーキ作用や発熱などの心配がなく、安全に排気作業を行うことが可能
- 大阪真空の全機種対応可能
- 加速器向け、長尺ケーブル対応あり（約200ｍ延長可能）
