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TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

  • TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M の特長

 

  • 省電力設計
  • 稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　※オーバーホール時にコントローラを入れ替えても、データ引継ぎ可能
  • 多様な通信仕様：Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT
  • 国際規格適合：NRTL/SEMI-S2/CE

用途

  • 半導体製造装置　　
  • FPD製造装置
  • 太陽電池製造装置
  • ガラス/レンズ等の光学部品加工
  • フィルム加工
  • 加速器/宇宙環境試験装置

仕様

外観寸法図

外観寸法図


性能曲線

性能曲線

コントローラ