製品情報

DSP501

  • DSP501

 

  • ポータブルタイプ
    小型・軽量・外乱に強い。タイミングギアレス構造により、軽量化を実現。

 

  • ユーティリティーの利便性向上
    ガスバラスト機構を標準搭載。空冷タイプのため冷却水の準備が不要。

 

  • オイルフリー
    タイミングギヤレス構造により、潤滑油を使用しない設計を実現。

 

  • 低騒音
    タイミングギアレス構造により機械音がない。外装カバーに防音機能を装備。

 

  • 低振動
    スクリュー形ロータの採用により、排気脈動が発生しない。

 

  • 省エネルギー
    競合他社と比較して、低消費電力を実現。

 

  • クリーン排気
    油回転真空ポンプのように油蒸気やパーティクルの逆流がない為、非常にクリーンな排気を実現。

 

  • 高速ポンプダウン
    大気圧付近で大排気速度を実現。

 

  • 安全規格 CE適合

用途

  • SEM、リソグラフィ
  • 医療装置
  • ロードロック/搬送室排気
  • 分析機器
  • 加速器、イオン源、電子銃排気
  • 一般産業
  • PVD
  • R&D

仕様

型式 DSP 501

基本

性能

排気速度 ガスバラスト無 L/min 500
ガスバラスト有 L/min 430
到達圧力 ガスバラスト無 Pa 0.5
ガスバラスト有 Pa 2
接続形式 吸気 - KF40
排気 - KF25
概略重量 kg 21

ユーティ

リティ

電源 相数 単相
電圧 V AC100-230±10%
電源容量 VA 660
接続 - 平川ヒューテック製CM11 
消費電力 到達時 W 270
最大 600

 

  品目 仕様
標準付属品 AC100V クラス用
電源コード
アース付コンセントプラグ, 長さ3m
制御信号用コネクタ D-sub 15Pin オス
取扱説明書 日本語版
オプション 吸込真空フィルタ※4 KF40
AC200Vクラス用電源コード
排気口サイレンサ
ポンプ本体固定金具

 

※1 空気より熱伝導率の低いガスを排気する場合、ポンプロータ・ステータが接触して破損に至る可能性があります。温度上昇は排気条件によっても変わります。ご使用の際は、当社営業までお問合せください。
※2 ヘリウムや水素等の軽分子量ガスを吸引する場合、或いは多量の凝縮性成分を含む場合、ポンプ性能・運転に制約が生じる場合がありますので、事前に当社営業までお問合せください。
※3 使用後は水蒸気の凝縮防止及び軽ガスの排気性能改善、乾燥空気または窒素ガスをバラストポートから導入してください。
※4 異物等が入ることが危惧される場合は、吸気口にフィルタを取り付ける等の適切な防止手段を設けてください。

外観寸法図

外観寸法図


※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線

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