製品情報

STシリーズ(TG-Fシリーズ+ドライ真空ポンプ)

  • STシリーズ(TG-Fシリーズ+ドライ真空ポンプ)

■高真空排気システム

■簡単操作で高真空まで排気

■容易なタッチパネル操作を実現

■キャスター付で、移動が簡単!

■外乱に強く、ポンプ運転中の移動が可能!

■必要に応じてオプション機器の取付が可能

仕様

型 式 ST220F*D ST350F*D ST450F*D
ターボ分子ポンプ機種 TG220F TG350F TG450F
排気速度(N2;L/s) 220(210) ※1 350(330) ※1 450(430) ※1
到達圧力  (Pa)  <1×10-6
 (Torr)  <7.5×10-9
吸気口フランジ VG100/CF100/ISO-R100 VG150/CF160/
ISO-B160
補助ポンプ ドライ真空ポンプ DSP250
230 (200) L/min ※2
冷却方式 空冷
電源 単相、AC100V/AC200V
標準機器構成
  • ターボ分子ポンプ本体
  • ドライ真空ポンプ
  • TMPパワーサプライ
  • STコントローラ
  • 真空配管
  • 自動スローリーク弁
  • アルミフレーム架台

※1 ( )内の数値は保護金網付の排気速度です。
※2 ( )内の数値はガスバラスト導入時の排気速度です。

外観寸法図

外観寸法図


型式 A B
ST220FVD VG100 680
ST220FRD ISO-R100 680
ST220FCD CF100 700
ST350FVD VG100 710
ST350FRD ISO-R100 694
ST350FCD CF100 710
ST450FVD VG150 670
ST450FBD ISO-B160 670
ST450FCD CF160 670

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