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大気圧連続運転&水蒸気排気 FR060D

  • 大気圧連続運転&水蒸気排気 FR060D

■大気圧で連続運転可能
 開放時排気速度800L/min

 

■水蒸気吸入可能

 水蒸気処理量500g/hr

 

■排気時間の短縮
 到達付近まで一定の排気速度維持

 

■空冷仕様

用途


・小型実験排気用
ロードロック室、搬送
分析・測定装置の排気
吸着・搬送
加速器の排気
封止・封着
電子銃源・イオン銃源排気
乾燥
スパッタ蒸着などのPVD装置排気
小型炉排気
TMPなどの高真空ポンプの補助ポンプ


仕様

型 式 FR060D
排気速度 (L/min) 最大 1000
開放運転時 800
試験到達圧力 (Pa) 通常 1.0
ガスバラスト時 2.0
接続形式 吸気口 KF(NW)40
排気口 KF(NW)40
最大水蒸気処理量※1 (g/hr) 500
潤滑油量 (mL) 90
消費電力 (kW) 到達圧力時 1.1
最大 1.3
電源 電圧(V) 200-240
周波数(Hz) 50/60
相数 単相/三相
許容電圧変動※2 ±10%
電源容量(kVA) 3.0
電流(A) 単相 11.1
三相 6.5
冷却方式 空冷
概略質量(kg) 75
環境温度 (℃) 5-40

※1 ガスバラスト機構使用時の処理量になります。

※2 特殊仕様に関しては、別途御連絡願います。

外観寸法図

外観寸法図


※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線

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