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FR060D
■大気圧で連続運転可能
開放時排気速度800Ｌ/min
■水蒸気吸入可能
水蒸気処理量500g/hr
■排気時間の短縮
到達付近まで一定の排気速度維持
■空冷仕様
用途
・小型実験排気用
・ロードロック室、搬送
・分析・測定装置の排気
・吸着・搬送
・加速器の排気
・封止・封着
・電子銃源・イオン銃源排気
・乾燥
・スパッタ蒸着などのPVD装置排気
・小型炉排気
・TMPなどの高真空ポンプの補助ポンプ
仕様
| 型 式 | FR060D | ||
| 排気速度 (L/min) | 最大 | 1000 | |
| 開放運転時 | 800 | ||
| 試験到達圧力 (Pa) | 通常 | 1.0 | |
| ガスバラスト時 | 2.0 | ||
| 接続形式 | 吸気口 | KF（NW）40 | |
| 排気口 | KF（NW）40 | ||
| 最大水蒸気処理量※1 (g/hr) | 500 | ||
| 潤滑油量 (mL) | 90 | ||
| 消費電力 (kW) | 到達圧力時 | 1.1 | |
| 最大 | 1.3 | ||
| 電源 | 電圧（V) | 200-240 | |
| 周波数（Hz） | 50/60 | ||
| 相数 | 単相/三相 | ||
| 許容電圧変動※2 | ±10％ | ||
| 電源容量（kVA） | 3.0 | ||
| 電流（A） | 単相 | 11.1 | |
| 三相 | 6.5 | ||
| 冷却方式 | 空冷 | ||
| 概略質量（kg） | 75 | ||
| 環境温度 (℃) | 5-40 | ||
※1 ガスバラスト機構使用時の処理量になります。
※2 特殊仕様に関しては、別途御連絡願います。
外観寸法図
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
性能曲線
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
