| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ |
| VG150 | φ235 | 16 | 225 |
| CF160 | φ203 | 22 | 230 |
| ISO-B160 | φ225 | 16 | 230 |
磁気軸受形 ターボ分子ポンプ
TG420M
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
製品特長
- 取付姿勢自在
- コンパクトサイズ
- 省エネルギー
- 急速起動停止
- メンテナンスコール
- 低振動
- チューニングフリー
- オートキャリブレーション
- 回転数コントロール
- 大流量排気
- 安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE
用途
- 半導体製造
- 電子銃排気、イオン源排気
- FPD製造
- 表面処理、表面改質
- 各種電子部品製造
- 分析、試験装置
- 管球製造、光学部品製造
- 加速器、放射線施設、核融合研究
- 熱処理
- 研究開発
仕様一覧
仕様
| 型式 | TG420M | |
|---|---|---|
| 吸気口 | VG150/ISO-B160/CF160 | |
| 排気口 | KF25 | |
| 排気速度 | N₂ (L/s) | 400 |
| N₂ (保護金網付) (L/s) | 370 | |
| H₂ (L/s) | 300 | |
| 最大圧縮比 | N₂ | 1×10⁸ |
| H₂ | 4.5×10³ | |
| 到達圧力 | Pa | <1×10⁻⁶ (VG・ISO-B) / <1×10⁻⁷ (CF) |
| Torr | <7.5×10⁻⁹ (VG・ISO-B) / <7.5×10⁻¹⁰ (CF) | |
| 最大ガス流量 ※1 | N₂ (sccm) | 2000 |
| Ar (sccm) | 700 | |
| 起動時間 | min | 2～3 |
| 停止時間 | min | 4～5 |
| 許容補助圧力 | Pa | 400 |
| Torr | 3.0 | |
| 推奨補助ポンプ | L/min | ≧160 |
| 質量 | kg | 14 (VG・ISO-B) / 17 (CF・ケミカル形) |
| ターボコントローラ型式 | TC010MB | |
※1：補助ポンプ容量を320L/minとした場合の許容最大流量
●使用周囲温度
許容周囲温度は空冷の場合10～32℃、水冷の場合は10～40℃です。
許容冷却水温は10～35℃です。
●対応ガス種
吸引ガス種によっては、内部部品を劣化させる場合があります。
対応ガス種は当社営業にお問い合わせ下さい。
外観寸法図
●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
性能曲線
【ガス流量曲線】
【排気速度曲線】
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
コントローラ
| コントローラ型式 | TC010MB |
|---|---|
| 入力電圧 | AC200-240V (±10%) |
| 入力相数 | 単相 |
| 入力周波数 (Hz) | 50/60 |
| 出力周波数 (Hz) | 680 |
| 最大所要電力 (VA) | 700 |
| 質量 (kg) | 11 |
| 通信インターフェース | Remote・RS232C |
| 標準付属品 | ・入力ケーブル(5m)：1本 ・リモートコネクタ：1個 ・取扱説明書(本体、シリアル通信)：各1部 |
