磁気軸受形 ターボ分子ポンプ
TG-MLシリーズ
極低振動仕様磁気軸受形ターボ分子ポンプ
製品特長
分析用途の基礎技術、超微小空間の測定、リソグラフィに代表される次世代半導体製造プロセスの微細加工などに不可欠な要素である「極低振動」を達成したシリーズ。
- ポンプ本体の振動値を１nm以下に抑えることに成功。
※弊社測定方法による - 専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減。
用途
- EUV露光装置をはじめとする次世代半導体製造装
- 高精度・高性能な電子顕微鏡、分析装置、計測装置など
仕様一覧
仕様
| 機種名 | TG390ML | TG420ML | TG900ML | TG1300ML | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 吸気口 | ISO-B100 / VG100 / CF100 | ISO-B160 / VG150 / CF160 | ISO-B160 / VG150 / CF160 | ISO-B200 / VG200 / CF200 | ||
| 排気口 | KF25 | KF40 | ||||
| 排気速度 | N₂(L/s) | 340 | 400 | 900 | 1300 | |
| N₂ (保護金網付) (L/s) | 320 | 370 | 860 | 1230 | ||
| Ｈ₂(L/s) | 290 | 300 | 1050 | 1200 | ||
| 最大圧縮比 | N₂ | 1×10⁸ | ||||
| H₂ | 4.5×10³ | 1.5×10⁴ | ||||
| 試験到達圧力 | Pa | ＜1×10⁻⁶ (ISO-B・VG), ＜1×10⁻⁷ (CF) | ||||
| Torr | ＜7.5×10⁻⁹ (ISO-B・VG), ＜7.5×10⁻¹⁰ (CF) | |||||
| 起動時間 | min | 2～3 | 4～5 | |||
| 停止時間 | min | 4～5 | ||||
| 許容補助圧力 | Pa | 400 | 500 | |||
| Torr | 3 | 3.8 | ||||
| 推奨補助ポンプ | L/min | ≧160 | ≧250 | |||
| 質量 (kg) | 14 (ISO-B・VG), 17 (CF) | 34 (ISO-B・VG), 42 (CF) | ||||
| ターボコントローラ型式 | TC010MB | |||||
※1：補助ポンプ容量を320L/min（TG390/420ML）、1000L/min（TG900/1300ML）とした場合の許容最大流量。
※2：流量特性（性能曲線）は標準形と同一です。各機種の標準形をご覧下さい。
外観寸法図
詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。
性能曲線
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コントローラ
詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。
