磁気軸受形 ターボ分子ポンプ
TG-MIシリーズ
反応生成物対策型磁気軸受形ターボ分子ポンプ
製品特長
反応生成物が堆積しやすい装置向けとして、当社独自の断熱構造/自己昇温機構を採用し、反応生成物堆積率を大幅に減少させたシリーズです。
- 従来の反応生成物対策
対象部位を含めた周囲全体をヒーティングする方法
・熱が分散する。
・有効利用できない。
・対象部位外への熱影響 - TG-MIシリーズによる対策
外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温
・外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！
・主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。
・排気配管にも断熱材を採用。最適な温度を維持し、排気配管内の生成物発生を防止。
用途
- 半導体、FPD、MEMS製造等のエッチング装置
- 反応生成物が発生しやすいプロセス装置
仕様一覧
仕様
| 機種名 | TG390MI | TG420MI | TG900MI | TG1300MI | TG2400MI | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 吸気口 | ISO-B100 / VG100 | ISO-B160 / VG150 | ISO-B160 / VG150 | ISO-B200 / VG200 | ISO-B250 / VG250 | |
| 排気口 | KF25 | KF40 | ||||
| 排気速度 | N₂(L/s) | 340 | 400 | 900 | 1300 | 2400 |
| N₂(保護金網付)(L/s) | 320 | 370 | 860 | 1230 | 2300 | |
| Ｈ₂(L/s) | 290 | 300 | 1050 | 1200 | 1100 | |
| 最大圧縮比 | N₂ | 1×10⁸ | ||||
| H₂ | 4.5×10³ | 1.5×10⁴ | 8.3×10² | |||
| 到達圧力 | Pa | ＜1×10⁻⁶ | ||||
| Torr | ＜7.5×10⁻⁹ | |||||
| 最大ガス流量※1 | N₂(sccm) | 2000 | 3000 | |||
| 起動時間 | min | 2～3 | 4～5 | |||
| 停止時間 | min | 4～5 | ||||
| 許容補助圧力 | Pa | 350 | 500 | 150 | ||
| Torr | 2.6 | 3.8 | 1.1 | |||
| 推奨補助ポンプ | L/min | ≧160 | ≧250 | ≧500 | ||
| 質量 (kg) | 18 | 42 | 56 | |||
| ターボコントローラ型式 | TC010MBT | |||||
※1：補助ポンプ容量を320L/min（TG390/420MI）、1000L/min（TG900/1300/2400MI）とした場合の許容最大流量。
※2：流量特性（性能曲線）は標準形と同一です。各機種の標準形をご覧下さい。
外観寸法図
詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。
性能曲線
詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。
コントローラ
詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。
